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1506a
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2 Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a
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3.2.2 CMSX-S-...-S-... (���,���) 11.............................
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Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a � 9
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V1 V4V3V2
3 3
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CMSX-...-C-U-F1-...
Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a � 11
3.2.2 CMSX-S-...-S-... (678,� �)
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(�Fig. 8,1),\R�
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(� Fig. 9,1),\R
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Fig. 9 CMSX-SE-...-D-...-A $%�-
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V1 V4V3V2
3 3
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12 Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a �
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Fig. 10 CMSX-SE-...-D-...-C $%�-
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V1 V4V3V2
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CMSX-...-C-U-F1-...
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14 Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a �
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CMSX-...-C-U-F1-...
Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a � 15
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– ²�³ 1.5 Nm ± 20 %。
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– 2 :�=; 6
– ²�³ 0.5 Nm ±>10 %。
6. �����5�(@��\/����m
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(�Fig. 12)。
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– 4 0�= 3
– ²�³ 3 Nm ±>20 %。
Fig. 12
1
2
3
4
5
6
7
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CMSX-...-C-U-F1-...
16 Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a �
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2. ��SKL (!]。
3. \���5� 1 6/m/���。
– 4 0�= 3
– ²�³ 1.5 Nm ± 20 %。
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–4 6/= 4–²�³ � Tab. 2
5.\���5� 1 6/m0�(54¡)5�。
4 6/= 4²�³ 1.5 Nm ± 20 %。
6.�����5�\/��6/m0�
(54¡)�
–4 6/= 2–²�³ 3 Nm ±>20 %。
Fig. 13 ���� CMSX-SE-...(���)
1
2
4
5
6
3
CD DFPI-100-...-E-P-G2 �
DFPI-160-...-E-P-G2
DFPI-200-...-E-P-G2 �
DFPI-320-...-E-P-G2
²�³ [Nm] 2.7 ± 10 % 6 ± 10 %
Tab. 2
CMSX-...-C-U-F1-...
Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a � 17
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CMSX-...-C-U-F1-...
18 Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a �
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CMSX-...-C-U-F1-...
Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a � 19
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–²�³ :V½ 0.6 Nm。
5.%�K!BJ�(²¼8*½T�>)\59B8(� Fig. 16,2)�9!��5³ 。
6. ²�!>=?54:�=´。
–²�³ :2 Nm。
7. j�m���@��5�&��,Á�8M。
8. ��0�78,��²� 4 C0�= (� Fig. 1,3)。
–�� i����-。
–²�³ :1.5 Nm。
CMSX-...-C-U-F1-...
20 Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a �
16 15
1
14
...
1
2
1
1 BMA�MqO 2 59B8
Fig. 16 �MqO(59B8
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0...10 V2 Vsp- !S)¡"O -
3 Isp+ ![)¡"O + �C[)¡B
0 ... 20 mA,
4 ... 20 mA4 Isp- ![)¡"O -
5 +24 V DC :�!];24 V DC !M�(�!]
6 0 V DC :�!];0 V DC
7 I- ![)Z"O - �.[)ZB
4 ... 20 mA8 I+ ![)Z"O +
9 – Zn(��59B8�5 –
10 � ._!)ZB� �Â)ZB
11 D-OUT1 ._!)ZB Out 1 w�)ZB
12 D-OUT2 ._!)ZB Out 2
13 + 24 V DC )ZBµE!];24 V DC ._!)ZB!]
14 0 V DC )ZBµE!];0 V DC ._!)ZB!]
15 D-IN+ ._!)¡B + -.)¡B1)
16 D-IN- ._!)¡B - -.)¡B1)
3) ��¶x!]()W"��·!�
Tab. 3
KL �M ���
1 Vsp+ !S)¡"O + �C[)¡B
0 ... 10 V2 Vsp- !S)¡"O -
1) ��¶x!]()W"��·!�
CMSX-...-C-U-F1-...
Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a � 21
KL ����M
3 Isp+ ![)¡"O + �C[)¡B
0 ... 20 mA,
4 ... 20 mA4 Isp- ![)¡"O -
5 +24 V DC :�!];24 V DC !M�(�!]
6 0 V DC :�!];0 V DC
7 I- ![)Z"O - �.[)ZB
4 ... 20 mA8 I+ ![)Z"O +
9 – Zn(��59B8�5 –
10 � ._!)ZB� �Â)ZB
11 D-OUT1 ._!)ZB Out 1 w�)ZB
12 D-OUT2 ._!)ZB Out 2
13 + 24 V DC )ZBµE!];24 V DC ._!)ZB!]
14 0 V DC )ZBµE!];0 V DC
15 D-IN+ ._!)¡B + -.)¡B1)
16 D-IN- ._!)¡B -
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Tab. 4 �M��
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yPd\"&,R5��&��59LI£Ã/P。/�� CMSX mÄ�
(� Fig. 16,2)"�C��59B8。
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��½8®5¸�lKB»�5。
� ��'xJ�\p'59Y��5� CMSX 0��59B8。
Fig. 17 :�!](59 – :�
CMSX-...-C-U-F1-...
22 Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a �
>?
� Fig. 17 �&�5(,"z��:�!]()ZBµE!]!�。
Q��!R � KL 1 ... 4(�S"TU Q�)
¹�C[Q���G!SD!["O+�QZ。Q��5���C[)¡B。#£%º¦z{�
��C[)¡B�� – r¶�!.5-(Zn5- � Tab. 16)。
VW��#R � KL 7,8(�S"TUVW�)
�-�.[(��- VP)Q��!["O"�Q����(ª!.“Open”ÅÆ
� Tab. 16)。
&XT�#R;JZ,D-OUT1,D-OUT2 � KL 10、11、12 KL 14
»Z$%&(�/V@/�(�(,�Â)ZB\���(!®。
)ZB D-OUT1 ( D-OUT2 Q��� PNP D NPN )ZB�5。@Æ�Q�&�-
(� Tab. 16)。yP�� PNP )ZB&-\)ZB,v��5)ZB( 0 V
(�M 14)@�µE。����� PNP )ZB��(._!)ZB�5:�。
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Fig. 18 �� PNP )ZB._!)ZB�5:�
yP\)ZB D-OUT1 ( D-Out2 �� NPN )ZB&,v��5)ZB( 24 V
(�M 13)@�µE。
CMSX-...-C-U-F1-...
Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a � 23
10
14
1
1 BMA�MqO
Fig. 19 D-OUT1 ( D-OUT2 �� NPN )ZB:�
&XT�!R � KL 15,16
R._!)¡B�"O�ZI�Q��- (� Tab. 16)。Zl-."O(,PDI
-.�¼�。GX�-¶/£Q5�:�58� 、T �£i#(� Tab. 16)。
16 15
1
1 !t!�
Fig. 20 ._!)ZB�5:�
CMSX-...-C-U-F1-...
24 Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a �
7 ��
>?
%�����������&��。
7.1 ����
� ,/���¢�?p�y�5�。
7.2 [\����
� $%&#�(½F[(�ka.X)。
� $%�5� i�。
J�
���G�Q)HG}ºJ。m:�!]\"(,�,���\��$%
�-。
� 0�����。
7.3 ]%^_
1. ��:�!]。
2. ���C[+5。
3. ��SKL 。
>?
$%&(\&'HF��ºB�-,��lC�C[df。
GH
ym��O�:�!]��\",vQ)Hº¿`�Ç�W.X¾±。
� �g"�«/:�!],È@£m��O�。
>?
� Set �@�,!.±�\x��i。
CMSX-...-C-U-F1-...
Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a � 25
7.4 `a��bU]%c�
�'�Q�!!S@�,,/��L���w�:
– &k�:4� (Auto)
– &w�:PID -.��Éc(Stopped)
,/��\�Zj�I�:
– PID -.�L�¿z{w�,"HR�C[+5�ZI�。
– /��R._!)¡B D-IN �-."O�ZI�。
– 9:19:$%�-。
mÀ�&�Á�.9:5/�- (SP),mÀ^&�Á�.9:x���- (VP)。
:�(&w� PID -.��Éc;��- 0 % – �f#):
--- 0.0%
VP: 0.0%
CMSX >C!.(5-mZn(�+�5-j�:
d e� #&bUfgh1) ij��
�,*� - �OPERAT� Auto 4�k�
�ACTUAT� Stopped PID -.��Éc
_*� CONFIG SIGNAL 4 ... 20 mA z{![)¡B;4 ... 20 mA
OPEN2) anti-clk �ÂI(�JFe�
DIRECT increase �C[ÊË(e��
CHARACTE linear �C[/�0�/�:��
D-OUT1
D-OUT2
power-L
power-L
C)ZBµE!](�K!®
D-IN stop-H (!®(, ��Éc
PARA DEADBAND 1.0 % -.�Ãq:1.0 %
PID-P 1 PID -.�n��!:1
PID-D 4 PID -.�K��!:4
MIN 0 % �:�ql�F:0 %
MAX 100 % �:�ql�F:100 %
SPMIN 0 % V��C["O:0 %
SPMAX 100 % V½�C["O:100 %
CURVE 0 % 0 % R��C[ 0 % -.Ä:0 %
5 % 5 % R��C[ 5 % -.Ä:5 %
... ... ...
100 % 100 % R��C[ 100 % -.Ä:100 %
1) Fcty Rst Ì`(*� 6)\>C!.ÍÎm�Åw�(� 7.6.10)。
2) ¦m CMSX-S-...(���)�mM*�
Tab. 5 Zn(+5-(�Åw�)
CMSX-...-C-U-F1-...
26 Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a �
+5-mÆ^�����JKÏC�。��±�!.(5-Q�GX�����`5�/�。
>?
6¥�G��A°。
� ���,ÇÐÑÈ CMSX *���、�')(!.。�f"#�%É
� ~j 7.5 ( 7.6。
jÊÒ�¢��*���ÇÐÑÈ! CMSX �')(!.:
� ��~j 7.7 ���&��。
7.5 e�12'U�
�� CMSX LCD 9:1(�)W�5R CMSX �&��。CMSX "�C��h�*�
��。¹*������,*� (_*� (� Fig. 21; 2 ( 1)。�& LCD 9:1\
�RS�T�,]�9:>C�,。
CMSX-...-C-U-F1-...
Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a � 27
7.6 e�-.
7.6.1 k�l��Ue�-.
SP:50.0%
VP:50.1%
�ACTUAT�
- Running
- Stopped
�OPERAT�
- Auto
- Manual
MENU
1 SENSOR
MENU
2 CONFIG
MENU
3 PARA
*SENSOR*
----+----
MENU
4 CURVE
*CONFIG*
- signal
- open
- direct
- characte
- d-out1
- d-out2
- d-in*PARA*
- deadband
- pid-p
- pid-d
- min
- max
- spmin
- spmax
*CURDEF*
0% 0.0
5% 5.0
... ...
95% 95.0
100% 100
6
3
12
6
3SENSOR
Error1
2
MENU
5 INFORM
MENU
6 INIT
*INITIA*
- Autoinit
- Userinit
- Fcty Rst
- Sytm Rst
- SetAsDef
*INFORM*
- L1 ..°
- L2 ..°
- V1 ...
- V2 ...
- Ver ...
1
2
6
3
3
2
1
2
1
3
1
2
1
2
6
12
12
12
12
1
2
1, 2, 4, 5
3
3
3
6
3
6
3
3
3
1
2
3
CMSX-...-C-U-F1-...
28 Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a �
7.6.2 ;<l��Ue�-.
SP:50.0%
VP:50.1%
�ACTUAT�
- Running
- Stopped
�OPERAT�
- Auto
- Manual
MENU
1 SENSOR
MENU
2 CONFIG
MENU
3 PARA
*SENSOR*
----+----
MENU
4 CURVE
*CONFIG*
- signal
- direct
- characte
- d-out1
- d-out2
- d-in
*PARA*
- deadband
- pid-p
- pid-d
- min
- max
- spmin
- spmax
*CURDEF*
0% 0.0
5% 5.0
... ...
95% 95.0
100% 100
6
3
12
6
3SENSOR
Error1
2
MENU
5 INFORM
MENU
6 INIT
*INITIA*
- Autoinit
- Userinit
- Fcty Rst
- Sytm Rst
- SetAsDef
*INFORM*
- L1 IN
- L2 OUT
- V1 ...
- V2 ...
- Ver ...
1
2
6
3
3
2
1
2
1
3
1
2
1
2
6
12
12
12
12
1
2
1, 2, 4, 5
3
3
3
6
3
6
3
3
3
1
2
3
1 �,*� 2 _*�
3 1 = � Add �2 = � Sub �3 = � Set �4 = � Add � 3 ËL5 = � Sub � 3 ËL6 = � Set � 3 ËL7 = � Set ( Add � 3 ËL
Fig. 21 *��� – �Ì
CMSX-...-C-U-F1-...
Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a � 29
7.6.3 mne�d
5�:�!]@�,, CMSX \4�L��,*� $%�-(� Fig. 21,1)。
m$%�-\9:j�`Ó:
– �Á�.r:x�5/�-(À 1 & – SP r: setpoint position)
– �Á�.r:x���-(À 2 & – VP r: valve position)。
$%�-9:r¶�5�&k�(&w�。
(o�h
pq1) *+ ij��
SP:50.0%
VP:50.1%
4�k�;
-.��m
&
CMSX L�4�k��,&w��“-.��m&”
(Running),y�Á�.9:��kw!5/�- (SP)
(x���- (VP)。
-->50.0%
VP:50.1%
�k�;-
.��m&
CMSX L��k��,&w��“-.��m&”
(Running),y�Á�.9:���5/�- (SP)
(x���- (VP)。
***50.0%
VP:50.1%
4�D�k
�;
��._!)
¡B�&-.
, CMSX L�4�k�D�k��。#£-.�L�¿z{
w�,¬�-.)¡B D-IN
�C��-."O。GX�-¶/£Q5�:�58� �£T
(� Tab. 16)。
---50.0%
VP:50.1%
4�D�k
�;-.��
Éc
CMSX L�4�k�D�k��,&w��“-.��Éc”
(Stopped),y�Á�.9:5/�-(x���-。
1) SP = setpoint position;VP = valve position;*** = C._!-."O; --- = -.��Éc;FL[�:�
Tab. 6 $%�-9: – :�
m�z{�k����,ÒQ�m$%�-�� Add �( Sub �5-�C[
(� Tab. 7)。
>?
jÊ-.��m&�-.)¡B��C-."O,Mkv�C[\x��i -
��L��k��!
jÊ�5�½F[(0 % D 100 %),MkÔ'� Add �D Sub �@�,
¹�C[\OmV�DV½�C[!
� Set � (3) Q�����,*� `��P (� Fig. 22)。���'@�,\9:x�
&w�(Running D Stopped)。F(,ÒQ�� Add �D Sub �±�&w�,F
&w�\m±��x��i。Ô'��@�,\9:x�&k�(Auto D Manual)。
m-QÒ$Q��� Add �D Sub �±�x�5-。� Set �y��m$%�-�,
ÕH��>�&k�。
CMSX-...-C-U-F1-...
30 Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a �
SP:50.0%
VP:50.1%
3
3
-->50.0%
VP:50.1%
---50.0%
VP:50.1%
***50.0%
VP:50.1%
MENU
1 ...
3
...
�ACTUAT�
Running
�ACTUAT�
Stopped
21
�OPERAT�
Auto
�OPERAT�
Manual
21
1
2
3 6 6
1: +
2: -
4: ++
5: --
4
1 �,*� – ÍÎÏ�
2 ��(FL�T� Set �)
3 _*� (� Fig. 21)
4 $%�- – r¶�&w�(&k�
Fig. 22 �,*� �� – ÍÎÏ�
� r�s8 t�s8
TÐ� Add � 1 �C[ÊË 1 % – CÑZ2) – 1)
TÐ� Sub � 2 �C[Ö× 1 % – CÑZ2)
T� Set � 3 ����,*� `��P (� Fig. 22)
hs� Add � 4 �C[� 10 % 1�hsÊË – CÑZ2) – 1)
hs� Sub � 5 �C[� 10 % 1�hsÖ× – CÑZ2)
� Set �Ò 3 ËL 6 e�_*� (� Fig. 22)
1) �d');���C[)¡B+5�C[
2) jÊ�5�½F[,Mk¹�C[\x�OmV�DV½�C[!
Tab. 7 $%�-��
CMSX-...-C-U-F1-...
Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a � 31
� Set �Q�;$%�-����,*� ` (� Fig. 21)。���'@�,\9:x
�&w�。C��&w�:
��uv
pq *+ ij��
�ACTUAT�
Running
-.�
�m&
jÊ._!-.)¡B D-IN ��C-."O,Mkm4�k
����kw!5/�-(m�k���5-5/�
-�i。Øv,\+&�R-.)¡B D-IN �-Ì`
(� Tab. 16)。
�ACTUAT�
Stopped
-.�
�Éc
(+5)
CMSX "HR�C[+5�ZI�,�¦HR-.)¡B D-IN
�-."O�ZI�。
Tab. 8 &w� (Running, Stopped)
� S,�w-�� S,�x/y
TÐ� Add � 1 -.�x�Éc -.�x���
T� Sub � 2
T� Set � 3 ����,*� `��P (� Fig. 21)
Tab. 9 9:&w�(��
� Add �D Sub �@� (� Fig. 21),-.�\x���DÉc。� Set �@�,
9:z{&k�。
s8
pq *+ ij��
�OPERAT�
Auto
4�k� CMSX L�4�k��(+5-)。, CMSX �ÏmF&k�
�&。
�OPERAT�
Manual
�k� CMSX L��k��。
Tab. 10 &k�
� t�s8 r�s8
TÐ� Add � 1 �©�k� �©4�k�
T� Sub � 2
TÐ� Set � 3 �Ó�©y����,*� `��P
Tab. 11 9:&k�(��
@(�� Set �(Ò 3 ËL)Q�;$%�-��¡*� (� Fig. 21)。
CMSX-...-C-U-F1-...
32 Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a �
7.6.4 e�d
���*� (���¡_*�。¹_*�AB�� 6 �*�。
pq *+ ij��
MENU
1 SENSOR
*�
1 �)�
���� Add �( Sub �-.�,��� 2��)�)
23*
MENU
2 CONFIG
*�
2 �-
���-/��(�C["OÔ�、�JF、�C[/�0�
/�、w�)ZB/�、R._!)¡B�-."O
I�)
MENU
3 PARA
*�
3 !.5-
��R-.��&!.5-(Ãq、n��!(K��!、�:
�ql(�C["O3*ÕF)
MENU
4 CURVE
*�
4 /�0�
���� 21 �-.Ä/q�,4/q/�0�
MENU
5 INFORM
*�
5 "#
9:�'$%&�V�(V½�)��-、���Ù�'.
(/��6�Ö,
MENU
6 INIT
*�
6 $%&
"�R/���&$%&(/-(�)')
Tab. 12 _*�
� Add �D Sub �Q����DR�_*� (� Fig. 21)。� Set �e�F*�。
��\9:À��*�Ì`D!.。
� :e�(e� 1 ... 6)
T� Add � 1 ������*� (� Fig. 21)
T� Sub � 2 R����*� (� Fig. 21)
T� Set � 3 *�e� (� Fig. 21)
@(�� Set � 6 R��,*� (� Fig. 21)
Tab. 13 _*����(*� 1 ... 6)
CMSX-...-C-U-F1-...
Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a � 33
7.6.5 e� SENSOR (1)
��*� SENSOR (1) '),Q�m-.��f����+&À��')2�,y$% �
��3*£Ø��`�)�)23*`。FG,�����F')m ]�f����
�� Add �( Sub �Q5�:�58T ,@�Õ��¤�5��=||�
(� Tab. 15)。
>?
��Q��:�58� ,QÚ��:�58T ×�¹ ��!¬�-.�m
F')���L�f�w�,>C!.5-½F[di。�Ϧ��m��SØ
+&F') - r¶�5�。
y9:1�9:"# Sensor Error,v���»Z!`-�)�)23*。CMSX m��(¿
� ���3*���d。m-Ù���,�Ú�����(� ~j 6.1)。
pq ���
MENU 1 SENSOR
----+---- 9:1�����ËO (+) 9:�)�"O。�� Sub �( Add �Q�Q
CMSX :�58 2 ( 4 � (T (� Tab. 15)。��-ÙJf×�¹
��。-�ËO£;ÄFÛ×��£;ÛFÄ×�,m-Qr¶��)�"O。
Tab. 14 �)�*� (1) — �)�
2
MENU
1 Sensor
*SENSOR*
----+----
SENSOR
Error
1
6 or 3
3
1, 2, 4, 5
1 ��!%����!
���%�!
2 \""#;�»Z�)�)23*
Fig. 23 �)�2�
� <z�=>
TÐ� Add � 1 TÐQ:�58 2 � ,Q:�58 4 T
TÐ� Sub � 2 TÐQ:�58 4 � ,Q:�58 2 T
T� Set � 3 R�m_*�
hs� Add � 4 Q:�58 2 � (Q:�58 4 T O�%º�¹�
hs� Sub � 5 Q:�58 4 � (Q:�58 2 T O�%º��
@(�� Set � 6 R�m_*�
Tab. 15 �&�)�2�(��
CMSX-...-C-U-F1-...
34 Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a �
7.6.6 {he� (2)
pq ���
MENU 2 CONFIG
SIGNAL �/z{�C[)¡B(�C["OÔ�
0-10 V !S)¡B(�M 1,2);0 ... 10 V
4-20 mA ![)¡B(�M 3,4);4 ... 20 mA(+5-)
0-20 mA ![)¡B(�M 3,4);0 ... 20 mA
Open1) ��F�W�\ÂÜ�JFe�(%+� ��)。
clockwis �(�JF
anti-clk I(�JF(+5-)
DIRECT �/5/�- (SP) Ý(("OJF (� Fig. 25)。
increase ÊÞ�C["O(+5-)
decrease Öß�C["O
CHARACTE �C[/�0�/�
linear ��/�0�(+5-);kw!�C[(5/�-@���
n� (� Fig. 26)
1 : 25 �Á�n/�0� (� Fig. 26)
1 : 33
1 : 50
user-def �,4/q�C[/�0�(� ~j 7.6.8)
D-OUT-1
D-OUT-2
�/��w�)ZB (D-OUT-1, D-OUT-2) /�。
power-H C)ZBµE!](�(!®
power-L C)ZBµE!](�K!®(+5-)
limit1-H 5�ºB�- 1 (�(!®
limit1-L 5�ºB�- 1 (�K!®
limit2-H 5�ºB�- 2 (�(!®
limit2-L 5�ºB�- 2 (�K!®
limits-H 5�ºB�- 1 DºB�- 2 (�(!®
limits-L 5�ºB�- 1 DºB�- 2 (�K!®
stop-H CMSX L�&w�“Actuat stopped”�(�(!®
stop-L CMSX L�&w�“Actuat stopped”�(�K!®
D-IN �/R._!)¡B D-IN �"OI�。-.�\L�¿z{w�。��Q
5���:�58� DQ��:�58� ,Q��:�58T �5�
É�。
stop-H (!®(, ��Éc(+5-)
stop-L K!®(, ��Éc
lmt1-H (!®(,FC 1 ×�
lmt1-L K!®(,FC 1 ×�
lmt2-H (!®(,FC 2 ×�
lmt1-L K!®(,FC 2 ×�
1) ¦m CMSX-S-...(���)�mM*�
Tab. 16 �-*� (2)
CMSX-...-C-U-F1-...
Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a � 35
��� Add �D Sub �,�©*��P') (� Fig. 24, 1 )。� Set �,�Ó
�©。��\9:x�5-。�� Add �( Sub ��©�P5- (� Fig. 24, 2 )。�
Set ��Óx��©,yR�*�。
>?
� Set �@�,!.±�\x��i。w� �,��m-.��Éc&w
��,��±�5-,._!)ZB$Q���@"Ow�。
MENU
2 CONFIG *CONFIG*
signal
open
direct
...
6
3
SIGNAL
0-10V
4-20mA
0-20mA
3
6
1
2
1
2
1 2
1 �� Add � (1) ( Sub � (2)
�©')
2 �� Add � (1) ( Sub � (2)
�©5-
Fig. 24 �-*� (2) ��� – "O:�
� e� CONFIG �U|} gh(?~:@�)
T� Add � 1 �������P
T� Sub � 2 R�����P
TÐ� Set � 3 �Ó�© �Ó�©yR�*� (2)
@(�� Set � 6 R�m_*� �Ó�©yR�_*�
Tab. 17 �-*� (2) ���
CMSX-...-C-U-F1-...
36 Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a �
�]�A(OPEN) - D CMSX-S-...-(678)
���!. OPEN ��,�ÂÜ�JFe�¹�W�。5-�����,9:1�\9:j��
�- (VP):
– m�W���?f#���: VP 0 %
– m�W���?e����:VP 100 %.
!. OPEN HR+� ����JF�N>:��- (VP) G}ÅÆ,;�$HÅÆ��.
[)ZB�kw!"O。FG,F!.�HÅÆ�- limit1、limit2、lmt1 ( lmt2。
£m�C["OÊÞ�£Öß(e�¹�W�,���!. DIRECT �/。
@��A (DIRECT)
��!. DIRECT �/5/�- (SP) Ý(("OJF。�C["OÊÞD�C["OÖß(
Ý(5/�- (SP)。F!.£ØCi,��C[/�0�/�df。����C[/�0�
!.��,@��j�:
1
ÊÞ�C["O (increase)
Öß�C["O (decrease)
2
0/4 mA
10 V0 V20 mA
1 � [%] r:5/�- SP (setpoint
position)
2 �C["O3* – :� (SPMIN = 0 %;
SPMAX = 100 %)
Fig. 25 5/�-��C["O��JF – :�(FL���/�0�)
jC�P,Q��!. SPMIN ( SPMAX R�C["O3*�F.
(� Tab. 18)。£e��£f#¹�W�,���!. OPEN ¶/。
CMSX-...-C-U-F1-...
Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a � 37
Q�c�<Uc (CHARACTE)
F!.Q��/�C[/�0�/�。5-�“linear”(,kw!�C[�&[(5/�-
�&[ (SP) @�n�gh"�。
m�+�5/"OJF���,�Á�n/�0�ÛF}à.f� (DIRECT =
increase)。�R�Á�n/�0�,mkw!�C[�&["����,5/�-\���
Á�nÏ.���&。
1 2
3
��
1 : 25
1 : 33
1 : 50
4
SPMAXSPMIN
1 � [%] r:5/�- SP (setpoint
position)
2 ��/�0�(� !Ü Fig. 25)
3 �Á�n/�0�(FL� 1 : 50)
4 �C["O - áb[r¶�!. SPMIN
( SPMAX
Fig. 26 �C[/�0�/� – :� (DIRECT = increase)
�� User-Def. Q��� 21 �-.Ä�/�,4/q�C[/�0�(� ~j 7.6.8)。
D-Out-1,D-Out-2,D-IN
-\!.�� Tab. 16 >�')。�� Set ��Ó@�,!.±�\x��i,
��L�&w�“-.�Éc”�。
±�!. OPEN (,\z�ºB�- (limit1, limit2) (C (lmt1, lmt2)。
CMSX-...-C-U-F1-...
38 Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a �
7.6.7 L&e� (3)
��!.*��Ì`Q�ÝT-.�!.,�N��Zbkw!�C[(�:�3*!.。
pq ���
MENU 3 PARA
DEADBAND �//��Ãq (� Fig. 28)。
0.5 ... 10% �Zb:�qlÃq(� % r:)
(+5-:3 %)
PID--P �/ PID -.� P �!(n��!)
1 ... 20 P �!(+5- = 1)
PID--D �/ PID -.� D �!(K��!)
1 ... 20 D �!(+5- = 4)
MIN �/�:�ql�F (� Fig. 29)
0 ... MAX -1% �.:�ql`��-(� % r:)
(+5- = 0 %)
MAX �/�:�ql�F (� Fig. 29)
MIN+1% ... 100% �.:�ql`��-(� % r:)
(+5- = 100 %)
SPMIN �/V��C["O(+5- = 0 %)。1)
0 ... SPMAX-20% `�:�ql`V��C[(� % r:)
SPMAX �/V½�C["O(+5- = 100 %)。1)
SPMIN+20% ... 100% `�:�ql`V½�C[(� % r:)
1) �FQ�R�C["O:�ql�F. (� Fig. 30)
Tab. 18 !.*� (3)
-\!.$Q��� Add �( Sub ��&�©(5- (� Fig. 24, 2 )。� Set
��Óx��©D5-,yR�*�。
>?
y-.��m&(&w� Running),vm� Set
�@�,v5-\x��i。
MENU
3 PARA *PARA*
deadband
pid--p
pid--d
...
6
3
DEADBAND
...
3.0%
3.1%
...
6
1
2
1
2
3
Fig. 27 !.*� (3) ��� - :� DEADBAND – Ãq
CMSX-...-C-U-F1-...
Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a � 39
� e� PARA �U|} L&�
TÐ� Add � 1 �������P ÊË[
TÐ� Sub � 2 R�����P Ö×[
TÐ� Set � 3 �Ó�© R��©
@(�� Set � 6 �Ó�©yR�_*�
Tab. 19 !.*� (3) ���
�M (DEADBAND)
!. DEADBAND(Ãq)�/¹q�F(�F,mF3*`±��-�!"HR-.[G}
ÅÆ。m»ZÃq(,ÕH±�-.[。¦Cx-.°â��ã�Ãq3*`(b > -.°â >
b)(,¹-.[Õgh"�。
1
2
3
4
a = DEADBAND
b = ½ DEADBAND
1 -.[(-.�)Z"O)
2 -.°â(-.�)¡"O)
3 �F (DEADBAND (+))
4 �F (DEADBAND (-))
Fig. 28 Ãq
Ãq½�HÅÆ/�Þdb�N/��R-.°âI�ß©b。
Ãq5-��Óàm5/�-ä*�åá,âm�æåá("«/�)。�F\�/��( �
��,���çª"�PµE。Ãq5-�½H?K/�Þdb。
CMSX-...-C-U-F1-...
40 Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a �
S,L& (PID--P, PID--D)
-��!.HÅÆ5�-./�。��-��!.Q����P��j-.,b(-./�。
�,df±� PID -.�®��!。¹®��!mZn(�¢+�5/!��p'[。
#£,!.5-A°Q)HY¨5/�-ä*Zl½æbåáD�æåá。�� ��èF�Z
I�*½� ��±�©)。
PID--P
!. PID--P HÅÆ PID -.� P �!。
– ¹[Ý(,vmZl-.°â(,-.[�&$HÝ(。P �!�(\G}½æbåá。
– ¹[?K,vmZl-.°â(,-.[�&[$H?K。P �!�K\Y¨-.�W
Öé。
PID--D
!. PID--D HÅÆ PID -.� D �!。
– ¹[Ý(,vm-.°â�&,b��(,-.[�&\ãKÊÞ。-.�W\U UV
�+&。
– ¹[?K,vm-.°â�&,b��(,-.[�&\U U½。-.�W���)
U UÞ。
CMSX-...-C-U-F1-...
Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a � 41
�N M�U'�V� (MIN, MAX)
��!. MIN ( MAX �/�:�ql�B��-(�B��-(äI&W) - ��C[/�
0�/�df。GX�/�B��-(�B��-�?�j¹/�0�。��\w���5-
� MIN 20 % ( MAX 80 % (,¹!.R���C[/�0�ÅÆ。
1
2
MAX 80
MIN 20
+5/
�,4/q
1 äI&W [%] 2 � [%] r:5/�- SP (setpoint
position)
Fig. 29 !. MIN ( MAX R�C[/�0�ÅÆ – :�
V��C[�ÏR�V�äI&W,V½�C[�ÏR�V½äI&W –
r¶���(!.5-(� Tab. 16 !. OPEN)。
CMSX-...-C-U-F1-...
42 Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a �
Q�@��YU'�V� (SPMIN, SPMAX)
!. SPMIN ( SPMAX �/kw!�C["O3*�F(�F – ��C[/�0�/�
df。»Z¹ÕF"HR�C[G}ÅÆ。��\w���5-� SPMIN 20 % ( SPMAX 80 %
(,¹!.R���C[/�0�ÅÆ (DIRECT = increase)。
1
2
+5/
�,4/q
SPMAXSPMIN0/4 mA
10 V0 V20 mA= 20 % = 80 %
1 5/�- SP(� [%] r:) 2 "O3*
Fig. 30 !. SPMIN、SPMAX R�C["O3*ÅÆ – :�
m�+�5/"OJF (DIRECT = increase) ���,"O3*�F[\R�VK5/
�-,�F[\R�V(5/�-。
CMSX-...-C-U-F1-...
Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a � 43
7.6.8 c�<e� (4)
mF*��,Q��� 21 ��C[-.Ä�/�,4/q�W�/�0�。-\-.Ä\�
êR�>��W�[!/�[。
>?
���,m&w�“Running”�,-.ı�\x��i - d�� Set
�。
pq ���
MENU 4 CURVE
0 % R��C["O 0 % -.Ä(+5- 0 %)
0.0 ... �/q:�qlCf5/�- SP(� % r:)
5 % R��C["O 5 % -.Ä(+5- 5 %)
... ...
100 % R��C["O 100 % -.Ä(+5- 100 %)
Tab. 20 /�0�*� (4)
MENU
4 CURVE
*CURDEF*
0% 0.0
5% 5.0
... ...
95% 95.0
100% 100
6
3
3
1 2
3
1: +
2: -
4: ++
5: --
1 R��C["O-.Ä
2 5/�- SP [%](-.Ä[)
3 qW[ (� Tab. 21)
Fig. 31 /�0�*� (4) ��� - :�“-.Ä 0 %”
� e� CURDEF �U|}
TÐ� Add � 1 -.ÄÊË 0.1 % – CÑZ1)
TÐ� Sub � 2 -.ÄÖ× 0.1 % – CÑZ1)
TÐ� Set � 3 �Óx�[,y������-.Ä
@(�� Add � 4 -.ÄhsÊË 1 – CÑZ1)
@(�� Sub � 5 -.ÄhsÖ× 1 – CÑZ1)
@(�� Set � 6 R�m_*�
1) jÊ�5�½F[,Mk¹�C[\x�OmV�DV½�C[!
Tab. 21 /�0�*� (4) ���
CMSX-...-C-U-F1-...
44 Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a �
�C[-.Ä@��Y�>�/�C["O3* 5 %。��-\-.Ä]}�,4/q�W
�/�0�,�� 20 #��Ø�}�# (� Fig. 32)。��*� CONFIG.!.
CHARACTE z{�,4/q�W�/�0�(� ~j 7.6.6)。
1
2
3
4
75
%
SPMAXSPMIN
1 5/�- SP [%]
2 -.Ä(FLR�kw!�C[ 75 %)
3 áb[r¶�!. SPMIN ( SPMAX
4 kw!�C["O3*
Fig. 32 ë 21 �-.Ä�,4/q�W�/�0� – :�
R�-\-.ÄQ�Ý�(?���*�[。�ÏÝ���.[。
CMSX-...-C-U-F1-...
Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a � 45
7.6.9 @�e� (5)
m"#*� (5) �Q�Z��"#:
pq ���
MENU 5 INFORM
L1 ...° $%&�e�Xb�F(+� ��)
... .[ [°]
L1 IN �cÄ(�� ��)
...
L2 ...° $%&�e�Xb�F(+� ��)
... .[ [°]
L2 OUT �cÄ(�� ��)
...
V1 ...k ��'$%&��,��� V1 ���'.
...k .[1) [1000]
V2 ...k ��'$%&��,��� V2 ���'.
...k .[1) [1000]
Ver A3.3 5�6�Ö,
3.x Ö,qO
1) k r:ì(�ì')
Tab. 22 "#*� (5)
MENU
5 INFORM
*INFORM*
L1 ...°
L2 ...°
V1 ...k
...
6
3
1
2
Fig. 33 "#*� (5) ���
� e� INFORM �U|}
T� Add � 1 �������P
T� Sub � 2 R�����P
T� Set � 3 R�m_*�
@(�� Set � 4
Tab. 23 "#*� (5) ���
7.6.10 (o[e� (6)
m$%&*� (6) �Q���$%&D�&/-。FG,�Q�\x�5-g��//+
5-。
CMSX-...-C-U-F1-...
46 Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a �
>?
$%&(,�W�\×��ºB�-。¬F,�Ϧ��m��SØ�&$%& -
r¶�5�。
pq� ���
MENU 6 INIT
Autoinit ��4�$%&1)(� ~j 7.7.3)
mF\ ��×��ºB�-。4�$%&�W�Pmà/(�`�}。
Userinit ����,-.$%&1)。mF\ ��×��ºB�-。+&��,-.
$%&(,�� Add ���%+&$%&í�1�。
Fcty Rst \>Cx�5-ÍÎ�Zn(Ci+5-(�Åw� � Tab. 5)。
Sytm Rst \>Cx�5-ÍÎ����� SET AS DEF g�//+5-。
SET AS DEF \>Cx�5-g��//+5-。
1) $%&(,/��\$2+�3*(V@/�(�。m-Q/��\GX!�H��JFR�,����&��-.。
VP ( SP \�F��。
Tab. 24 $%&*� (6)
MENU
6 INIT
*INITIA*
Autoinit
Userinit
Fcty Rst
...
6
3
AutoInit
24-- 1
7
1
2
AutoInit
24-- ...
AutoInit
OK
1
2
1 ��:')åz{。$%&(×� ��! 2 $%&4�[W
Fig. 34 $%&*� (6) ��� – :� AutoInit
� e��U|}
T� Add � 1 �������P
T� Sub � 2 R�����P
TÐ� Set � 3 �Óx��©
@(�� Set � 6 R�m_*�
@(�� Set �( Add � 7 ')z{
Tab. 25 $%&*� (6) ���
CMSX-...-C-U-F1-...
Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a � 47
7.7 ����
���+� ��、�W�(/��@��$%+�3*£Ø�����)�)23*`。y�
�A°,+�3*Q)H»ZäI)23*。�RF��,\m��(�Z�#\""#。F(�
�Ú�����。�!PR)23*�&�Ï$%@G (� Fig. 11),����*� 1 SENSOR
Ì`$%�.��(� ~j 7.6.5)。y+�3*�����)�)23*`,vQ�R
CMSX �&$%&。��,���-(!.5-�/ CMSX /�。
m��(��+&��1�:
1. ')2�(�)�)23*$%(� ~j 7.7.1)
2. �R�O CMSX...-A:$%�?')。��GX>�/�R CMSX |��5�&���`
(� ~j 3.2)。
3. m CMSX :�����j[�(:
� �R¹j[��&5-,�@"z»���V½,b。
4. ����1�Q�*����&:
� $%&
� R�C["O(._!)¡B()ZB�&�-(Q�)
� R-./��&!.5-(Q�)
5. ���6�:
��`îXï(ï�8|b (SW) � 3 mm,²�³ � 1.5 Nm ± 10 %)��0�
78。��0�78(���,��0�78ðæ i�"z³0。 i�����dº
��C�ä。
7.7.1 ����z��YU[\
ÒQ�����êQ��:�58� ,QÚ��:�58T ,��&À�P')2�。�F
Q�$%,+� ��:�3*£Ø���)�äI)23*`。
�'�Q!]!S@�,, CMSX �ÏL���w�(� ~j 7.4):
– 4�k� (OPERAT Auto)
– “-.��Éc”&w� (ACTUAT Stopped)。
CMSX-...-C-U-F1-...
48 Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a �
�������&À�P')2�:
1. 5� ]。
2. 5�:�!S。���,, CMSX �ÏL�4�k�(“-.��Éc”&w��。
F(¹-.�L�¿z{w�,9:1�9:$%�-,�j:
--- 0.0%
VP: 0.0%
3. �� Set �Ò 3 ËL。�� CMSX \9:À��*�。
MENU
1 Sensor
4. �TÐ� Set �,e�F*�。
jÊx��-L�2!3*`,Mk CMSX \�ËOm9:19:x��)�"O½�
(:�)。
*Sensor*
----+----
jʹ�-L�2!3*@G,Mk9:1\9:�, Sensor Error。
Sensor
ERROR
m-Ù���r:�����mA°。�m�� CMSX (,%º�`!�HäI)23
*�?ç8 ��+�3*(!Ü~j 6.1)。
jÊx��-L�2!3*@`,MkvQ��� Add �( Sub ��êQ��:�58
� ,QÚ��:�58T 。Q:�58� (T (,�������
(� Tab. 15)。
5. ��j� Add �,�m¹+� ���5�ºB�-。5�ºB�-(,9:1\9:
�j:
1 Sensor
-+-------
6. F(�� Sub �,�m¹+� ���5�Ú��ºB�-。5�ºB�-(,9:1\
9:�j:
1 Sensor
-------+-
jÊm&H�`�+�3*�J�CZl\""#,Mkr:`�)�äI)23*ç8
! ��`�+�3*。-è��}'�}$%。F(Q�és�&$%&��
(� ~j 7.7.2)。
7. yP/vR�_*�,�TÐ� Set �。�� CMSX \Ô'9:À��*�
MENU
1 Sensor
CMSX-...-C-U-F1-...
Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a � 49
8. yPÔ'9:$%�-,v�� Set �Ò 3 ËL。�� CMSX \Ô'9:$%�-。
--- 0.0%
VP: 0.0%
7.7.2 (o[
$%&(,CMSX \GX!�H��JFR�,����&��-.,y�x2!�!(�-@
�f�。FG,CMSX �\2/V@/�(�。�F\HF ����ºB�-,yg��
½F[。m������%º�&$%&:
– ���}��'��(
– �`�j[�@�
– �������&@�,�j��!|��5。
$%&�WQ��D4�+&。°<·¥+&4�$%&(� ~j 7.7.3)。
CMSX-...-C-U-F1-...
50 Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a �
7.7.3 ��t�(o[ (Autoinit)
�©4�$%&(,CMSX \4�+&$%&。F( ��\�%�!
>?
$%&(,�W�\×��äIºB�-。
� �¦m��SØ�&$%&。
���\'��%�t�(o[:
1. 5� ]。
2. 5�:�!S。��,CMSX \9:$%�-,�j:
--- 0.0%
VP: 0.0%
3. �� Set �Ò 3 ËL。�� CMSX \9:À��*�。
MENU
1 Sensor
4. �TÐ� Sub �。��,CMSX \9:*� 6。
Ò$Q��©� Add � 5 ',;*� 1 ���*� 6。
MENU
6 INIT
5. �TÐ� Set �,e�F*�。��\9:*�À��Ì`。
*INITIA*
Autoinit
6. yP��4�$%&,��(� Set �( Add �Ò 3 ËL。��\��$%&。 ��
�%�。
$%&�W�Pmà/(�`�}。$%&í�1�\9:m9:1� (� Fig. 34)。
AutoInit
24-- 1
...
AutoInit
24-- ...
...
AutoInit
24--22
CMSX-...-C-U-F1-...
Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a � 51
}'�}$%&@�,9:1�\9:��"#:
AutoInit
OK
-è���}$%&。
y9:�#\",v�/v��4�$%&D�&�$%&。F��U'JTÐ� Set
�,�mÔ'9:F*�。���/v�&4�$%&D�&�$%&(� ~j 7.7.4)。
7. �TÐ� Set �。��\Ô'9:*�À��Ì`。
*INITIA*
Autoinit
8. yP/vR�_*�,�TÐ� Set �。�� CMSX \Ô'9:*� 6。
MENU
6 INIT
9. yPÔ'9:$%�-,v�� Set �Ò 3 ËL。�� CMSX \Ô'9:$%�-,
�j:
--- 0.0%
VP: 0.0%
CMSX-...-C-U-F1-...
52 Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a �
7.7.4 �����S,U(o[ (Userinit)
+&��,-.$%&(,�� Add ���%+&$%&í�1�。F( ��\�%
�!
>?
$%&(,�W�\×��äIºB�-。
� �¦m��SØ�&$%&。
���\'�������S,U(o[:
1. 5� ]。
2. 5�:�!S。��,CMSX \9:$%�-,�j:
--- 0.0%
VP: 0.0%
3. �� Set �Ò 3 ËL。�� CMSX \9:À��*�。
MENU
1 Sensor
4. �TÐ� Sub �。�� CMSX \9:*� 6。Ò$Q��©� Add � 5 ',;*� 1
���*� 6。
MENU
6 INIT
5. �TÐ� Set �,e�F*�。��\9:*�À��Ì`。
*INITIA*
Autoinit
6. yP������Ì`,v�TÐ� Add �。
*INITIA*
Userinit
7. yP����,-.$%&,��(� Set �( Add �Ò 3 ËL。9:1�\9:$
%&À��1�。
UserInit
11-- 1
yP�%+&>:$%&1�,v�TÐ� Add �。��\+&¹1�。 ���%
�。¹1�+&�ê@�,\9:���$%&1�。
UserInit
11-- 2
CMSX-...-C-U-F1-...
Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a � 53
8. �U'JTÐ� Add �,�m+&�>C1�。
}'�}$%&@�,9:1�\9:��"#:
UserInit
OK
-è���}$%&。
9. �TÐ� Set �。��\Ô'9:*�Ì`。
*INITIA*
Userinit
10.yP/vR�_*�,�TÐ� Set �。�� CMSX \Ô'9:*� 6
MENU
6 INIT
11.yPÔ'9:$%�-,v�� Set �Ò 3 ËL。�� CMSX \Ô'9:$%�-,
�j:
--- 0.0%
VP: 0.0%
7.7.5 g�L&
>?
!.5-A°Q)Hm&Y¨>�+� �����G&�。
� yÒñPm!.5-O�6¥R+� ���&-.,v�\ CMSX ���
“-.��Éc”&w�。
� #£���,CMSX %ºHR-.)¡B D-IN �-."O(!. D-IN
���ZI� (� Tab. 16)。
�}��($%&@�,�R/���&�-(!.5-。Zn((�Åw�)�R5-(!.�
&!+�5- (� Tab. 5)。
>?
y-.��m&(&w� Running),vm� Set �@�,v5-\x�
�i。
� Set �@�,!.±�\x��i。w� �,��m-.��Éc
&w��,��±�5-,._!)ZB$Q���@"Ow�。
� �GXÒ�����`5�!.[(5-。
� ��&>�5-。ÍÎ1��!Ü � ~j 7.5。
� �R��&5-�&2�。
CMSX-...-C-U-F1-...
54 Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a �
7.7.6 ��-�
�������6��:
1. ·¥:���Ì ̀Set as def(� *� 6)\Ò5-g��//+5-。
2. ��`îXï(ï�8|b (SW) � 3 mm,²�³ � 1.5 Nm ± 10 %)��0�
78。��0�78(���,��0�78ðæ i�"z³0。 i�����dº
��C�ä。
8 � ��
J�
���G�Q)HG}ºJ。
� ���,:�!]\"(,CMSX �,���\��$%�-
(� ~j 3.2)。
� jÊÒñP6¥m5�!](�,���$%�-�i(� ~j 3.2),
Mk��5�:�!](+�5/[,��Ô5� ]。
� ��&#�。
� 0���½F[。
5��!!S@�,¹ CMSX >L&w�(&k��f��!!S@�Ci&w�(
&k���。
�}���¹ CMSX �ÏL�:
– 4�k� (Auto)
– “-.��m&”&w� (Running)
¹ CMSX \�Á�.9:��kw!5/�-(x���-,yR¹��-�&���`。
SP: 12.0%
VP: 12.1%
, CMSX \�Zj�I�:
– ¹-.�z{,y\+� ���`�kw!5/�-。
– f�:�!](,CMSX �,���\��$%�-(� ~j 3.2)。
9 ����
jÊ�,��àò_/��,,�d�gó。
� ���=ôÀëì�G。��ëìõ£íîï。
CMSX-...-C-U-F1-...
Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a � 55
10 ��
>?
%�����������&Áö。
GH
Áö( ���G�Q)HG}ºJ。Áö/��@�:
� ��� ](!]。
� �Q+� ��T 。
� �g5�"H/v��。
GH
´|�¢�� ],#£/��?�C�D��:�58L�Sµw��(r¶
�����)。
� �m¤�=||�@�,UV�)�')Q:�58T (� ~j 7.6.5)。
>?
CMSX �C>!©)~�。¬��"xD¿�&59LI��³>!�!Q)H
º¿`!M�。
� �0�Cf>!©)~���_W。
� mÁ�p��,��&>!�!,&c>!�!º¿p�。
1. f#!]( ]。
2. ¤�0�= (��Fig. 1�,3)。r�0�78。
3. Áö! ( ��5。
4. ¤� ��� 4 C6/= (Fig. 12,3)yÁö/��(���5�。
CMSX-...-C-U-F1-...
56 Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a �
11 ����
� �\º¿5�÷Zm Festo ðøñù。Cf��([V:�"#
� www.festo.com/catalogue。
>?
"�5-\��"�&�。
� /ê£m±�/��(,�$%,�P�&Ü\5-,y�gm�P(Q�ÍÎ
-\5-。
Zn(�R¹5��&!+5-。
Cf�-+5- � Tab. 16
Cf!.5-+5- � Tab. 18.
±��:
� �$%5� |�5��。
� �$%5�`�! 5�。
� �m��(±�5��,$%5�5-(!.5-。
CMSX-...-C-U-F1-...
Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a � 57
12 !"#
! ]�U^_ "#��
/�(ZA ¿�&$%& �&$%&(� ~j 7.7.2)
CMSX �,���º¿ �\5�÷Q Festo øIñù
CMSX ( ��@����5
A°
/v·x���5
(� ~j 6.1);
�P(²�@��;±�º¿@
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Tab. 27 ka.X – À 1 �
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Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a � 59
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60 Festo – CMSX-...-C-U-F1-... – 1506a �
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