Simulação e Modelamento Comportamental de Sistemas Microeletromecânicos (PSI 5109)

Docente: Gustavo Rehder

1o Perido – 2013

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Introdução – MEMS Eletrostáticos

MEMS eletrostáticos Dispositivos Comerciais

• DLP – Digital Light Processor

• Acelerômetros

• Giroscópios

• Chaves para RF

DPL – Digital Light Processor

2 milhôes de pixeis para uma resolução de 1920x1080p chaveam até 5000x por segundo

DPL – Digital Light Processor

Sensores Inerciais • Acelerômetros

Sensores Inerciais • Giroscópios

Chaves RF MEMS