APLICAES DO XIDO DE SILCIO NA TECNOLOGIA DE FABRICAO DE DISPOSITIVOS

APLICAES DO XIDO DE SILCIO NA TECNOLOGIA DE FABRICAO DE DISPOSITIVOS

ESTRUTURA DO XIDO DO SILCIO

PROCESSOS BSICOS (DIFUSO E REAO) P/ OXIDAO DO SILCIO

CONSUMO DO SUBSTRATO DE Si DURANTE A OXIDAO TRMICA P/ FORMAO DO SiO2XSi (ESPESSURA-CAMADA CONSUMIDA DO Si) 0,44. Xox(ESPESSURA - CAMADA DE SiO2)

INFLUNCIA DA EXPANSO DE VOLUME NA TECNOLOGIA DE ISOLAO POR OXIDAO LOCAL (LOCOS)

OXIDAO TRMICA DO SILCIO

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)OXIDAO CONTROLADA POR DIFUSO

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)OXIDAO CONTROLADA POR REAOOXIDAO CONTROLADA POR DIFUSO

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)TAXA PARABLICAB

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)TAXA LINEARB/A

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)TAXA LINEARB/A

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)TAXA LINEARB/A

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)TAXA PARABLICABFATORES QUE ALTERAM D e C*, ALTERAM B

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)TAXA LINEARB/AFATORES QUE ALTERAM k e C*, ALTERAM B/A

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)ORIENTAO

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)PRESSO E ORIENTAOTAXA PARABLICA:OXIDAO CONTROLADA PELA DIFUSO

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)LMINAS DE Si DOPADAS COM FSFORO

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)LMINAS DE Si DOPADAS COM BORO

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

CINTICA DE CRESCIMENTO (MODELO DEAL-GROVE)

DIFERENTES TIPOS DE OXIDAO

DIFERENTES TIPOS DE OXIDAO

DIFERENTES TIPOS DE OXIDAO

DIFERENTES TIPOS DE OXIDAO

DIFERENTES TIPOS DE OXIDAO