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Caracterização térmica de Caracterização térmica de filmesfilmes

de cobre por termo-de cobre por termo-refletância refletância

Carolina AbsCarolina Abs

Por que determinar a condutividade térmicade um material?

Principais métodosPrincipais métodos analisados analisados para para determinação da condutividade térmicadeterminação da condutividade térmica

• Método Laser-Flash;

•Mirage;

•3 ω;

•Termo-refletância.

Determinação da condutividade térmicaDeterminação da condutividade térmica perpendicular ao plano do perpendicular ao plano do filme através do método Laser-Flash, considerando o modelo filme através do método Laser-Flash, considerando o modelo

unidimensional de condução de fluxo de calorunidimensional de condução de fluxo de calor

t1/2 é determinado através do gráfico obtido experimentalmente[2]

2/122 /38,1 tL

Em que é a difusividade térmica, L é a espessura e t1/2 é a metade do tempo necessário para que o corpo atinja sua temperatura máxima.

cperp

= difusividade térmica (m2/s)к = condutividade térmica (W/mK) = densidade (Kg/m3)c = calor específico (J/Kg K)

Dificuldades encontradasDificuldades encontradas

• Detector suficientemente rápido para o comprimento de onda;

•O transiente de temperatura é medido atrás do substrato.

Mirage Mirage

Dificuldades encontradasDificuldades encontradas

•Medidas estão muito próximas do limite de sensibilidade do método;

•A condutividade do ar acima do filme diminui a sensibilidade de detecção;

•Sensor de posição.

Método 3 Método 3 ωω

Dificuldades encontradasDificuldades encontradas

• Envolve preparação da amostra;

• Alta uniformidade da superfície;

• Substrato.

Termo-refletânciaTermo-refletância

Em que regime ela é aplicável?

Teoria da Linha de Transmissão

Método Stehfest

1. Resistência térmica;2. Condutividade térmica do

substrato depende da dopagem;