adan kvitschal estudo e implementaÇÃo de
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ADAN KVITSCHAL
ESTUDO E IMPLEMENTAÇÃO DE TRANSISTOR ORGÂNICO VERTICAL DE
EFEITO DE CAMPO COM ELETRODO INTERMEDIÁRIO NATURALMENTE
PERMEÁVEL
Dissertação apresentada como requisito parcial à obtenção do grau de Mestre em Física, no Curso de Pós-Graduação em Física da Universidade Federal do Paraná.
Orientador: Prof. Dr. Ivo Alexandre Hümmelgen
CURITIBA
2015
K97e Kvitschal, Adan Estudo e implementação de transistor orgânico vertical de efeito de campocom eletrodo intermediário naturalmente permeável/ Adan Kvitschal. – Curitiba, 2015. 76 f. : il. color. ; 30 cm.
Dissertação - Universidade Federal do Paraná, Setor de Ciências Exatas,Programa de Pós-graduação em Física, 2015.
Orientador: Ivo Alexandre Hümmelgen . Bibliografia: p. 72-74.
1. Eletrônica molecular. 2. Transistores de efeito de campo. 3. Dispositivosde filme fino. 4. Ftalocianinas. 5. Física de plasmas. I. Universidade Federal do Paraná. II.Hümmelgen, Ivo Alexandre. III. Título.
CDD: 621.381
RESUMO
Este trabalho apresenta uma análise de modelos para o transistor vertical de efeito de campo com fonte permeável. Investiga-se também mecanismos de transporte eletrônico em superfícies metal-semicondutor. As análises são feitas com base em semicondutores de estado sólido e estendidas à eletrônica molecular com a inclusão de algumas considerações.
Em seguida são realizados experimentos para o controle da morfologia de um filme fino metálico em uma única etapa de evaporação térmica, a fim de obter permeabilidade à passagem de campos elétricos no sentido ortogonal sem perda de condutância no sentido planar. A morfologia é aferida através de microscopia de força atômica, sendo que os dados são correlacionados com medidas de resistência de folha.
Finalmente são realizados dois transistores com eletrodo intermediário permeabilizado através da técnica mencionada acima, porém com dois semicondutores moleculares diferentes, o fulereno e a ftalocianina de cobre. Os resultados obtidos revelam um comportamento ambipolar do dispositivo com ftalocianina como semicondutor, apresentando ganho de corrente, relação on/off e transcondutância relativamente altos em comparação a dispositivos orgânicos da literatura, além de tensões de operação abaixo de 5 V.
Palavras-Chave: Eletrônica Orgânica, Transistor Vertical de Efeito de Campo, Filme Fino, Ftalocianina, Ambipolar, Baixa Tensão, Eletrodo Permeável
ABSTRACT
In this work, an analysis of models for the vertical field effect transistor with permeable source electrode as well as basic charge transfer mechanisms in metal-semiconductor interfaces is presented. These analyses are made considering solid-state semiconductors and then extending the concept to molecular semiconductors with the introduction of some considerations.
Also, experiments concerning the morphology control of thin metal films in a single thermal evaporation step are realized, aiming the achievement of orthogonal electric field permeability without loss of in-plane conductivity. The morphology is analyzed by atomic force microscope imaging, and the data is correlated to sheet resistance measurements.
Finally, two transistors are realized using an intermediate electrode permeabilized trough the techniques described above, however two different molecular semiconductor are utilized; fullerene and copper phtalocyanine. The results show an ambipolar behavior for the phtalocyanine device, with high current gain, on/off ratio and transconductance in comparison to other organic devices in the literature, as well as operating voltages below 5 V.
Keywords: Organic Electronics, Vertical Field Effect Transistor, Thin Film, Pthalocyanine, Ambipolar, Low Voltage, Permeable Electrode
LISTA DE FIGURAS
FIGURA 1 – FORMATO DOS ORBITAIS ATÔMICOS…..................................... 14
FIGURA 2 – FORMAÇÃO DOS ORBITAIS LIGANTE E ANTI-LIGANTE…........ 16
FIGURA 3 – EXEMPLOS DE SISTEMAS CONJUGADOS CÍCLICO E NÃO-
CÍCLICO.............................................................................................................. 17
FIGURA 4 – ILUSTRAÇÃO DA COMBINAÇÃO DE ORBITAIS π EM UM ANEL
BENZÊNICO.…................................................................................................... 17
FIGURA 5 – DENSIDADES DE NÍVEIS DE ENERGIA PARA OS CASOS
MOLECULAR E CRISTALINO…......................................................................... 19
FIGURA 6 – COMPONENTES DO CAPACITOR MOS…................................... 22
FIGURA 7 – VARIAÇÃO DAS CONDIÇÕES DE POLARIZAÇÃO DA
INTERFACE…..................................................................................................... 23
FIGURA 8 – ESQUEMA EM CORTE LATERAL DE UM MOSFET PLANAR
CANAL 'N'…......................................................................................................... 24
FIGURA 9: (A-C) DISTRIBUIÇÃO DE CARGAS NO CANAL EM DIFERENTES
POLARIZAÇÕES DE DRENO. (D) COMPORTAMENTO ELÉTRICO
IDEALIZADO DA CORRENTE DE DRENO.….................................................... 26
FIGURA 10 – MODELO DE PEQUENOS SINAIS…........................................... 28
FIGURA 11 – ENERGIAS E BARREIRAS DE POTENCIAL ASSOCIADAS À
INTERFACE METAL-SEMICONDUTOR….......................................................... 31
FIGURA 12 – ESQUEMA DO TRANSISTOR FET DE FONTE PERMEÁVEL…. 34
FIGURA 13 – ILUSTRAÇÃO DA SEÇÃO TRANSVERSAL DA PERFURAÇÃO
E CAMPOS INDUZIDOS PELOS POTENCIAIS DE DRENO E PORTA…......... 36
FIGURA 14 - ESTRUTURA QUÍMICA DO PVA…............................................... 38
FIGURA 15 – REPRESENTAÇÃO DOS ESTADOS INTERMEDIÁRIOS DE
FORMAÇÃO DE UM FILME METÁLICO…......................................................... 41
FIGURA 16 – ESQUEMA SIMPLIFICADO DA EVAPORADORA….................... 44
FIGURA 17 – TESTE RÁPIDO DE RESISTÊNCIA A DOIS TERMINAIS…........ 46
FIGURA 18 – MORFOLOGIA DO FILME À DISTÂNCIA DE 7 cm..................... 48
FIGURA 19 – DISTRIBUIÇÃO DE ALTURAS DAS IMAGENS DE AFM DAS
AMOSTRAS À DISTÂNCIA DE 7 cm…............................................................... 48
FIGURA 20 - PERFIL AO LONGO DA AMOSTRA 4…........................................ 49
FIGURA 21 – MORFOLOGIA DO FILME À DISTÂNCIA DE 10cm….................. 50
FIGURA 22 – DISTRIBIÇÃO DE ALTURAS DAS IMAGENS DE AFM DAS
AMOSTRAS À DISTÂNCIA DE 10cm.................................................................. 50
FIGURA 23 - PERFIL AO LONGO DA AMOSTRA 2…........................................ 51
FIGURA 24 – MORFOLOGIA DO FILME À DISTANCIA DE 16cm..................... 52
FIGURA 25 – DISTRIBUIÇÃO DE ALTURAS DAS IMAGENS DE AFM DAS
AMOSTRAS À DISTÂNCIA DE 16cm.................................................................. 53
FIGURA 26 - PERFIL AO LONGO DA AMOSTRA 2…........................................ 53
FIGURA 27 – ESTRUTURA DA MOLÉCULA DE C60 E DA MOLÉCULA DE
CuPc…................................................................................................................. 55
FIGURA 28 – SEQUÊNCIA DE FABRICAÇÃO DA AMOSTRA…....................... 57
FIGURA 29 – DIAGRAMA DE NÍVEIS ENERGÉTICOS DO DISPOSITIVO
COM FONTE EM ESTANHO E CANAL EM C60…............................................. 58
FIGURA 30 – PERFIL I-V DE SAÍDA NO PRIMEIRO QUADRANTE PARA O
VOFET COM CANAL EM FULERENO:…........................................................... 60
FIGURA 31 - DIAGRAMA DE NÍVEIS ENERGÉTICOS DO DISPOSITIVO
COM COBERTURA DE OURO NO ELETRODO DE FONTE…......................... 61
FIGURA 32 – MORFOLOGIA DO FILME DE ESTANHO COM COBERTURA
DE 10 nm DE OURO E DENSIDADE DE ALTURAS CORRESPONDENTE…... 62
FIGURA 33 – DIAGRAMA DE NÍVEIS ENERGÉTICOS DO DISPOSITIVO
CONSTRUIDO COM CuPc….............................................................................. 63
FIGURA 34 – CARACTERÍSTICA I-V DE SAÍDA DO FET CuPc NO
TERCEIRO QUADRANTE…............................................................................... 64
FIGURA 35 – CARACTERÍSTICA I-V DE SAÍDA DO FET CuPc NO
PRIMEIRO QUADRANTE…................................................................................ 65
FIGURA 36. CARACTERÍSTICAS I-V DE TRANSFERÊNCIA E ENTRADA NO
TERCEIRO QUADRANTE COM VGS=-5 V….................................................... 67
FIGURA 37 – TRANSCONDUTÃNCIA CALCULADA EM VGS=-5 V…............... 68
FIGURA 38 – HISTERESE DO FET CuPc NO TERCEIRO QUADRANTE…..... 69
LISTA DE TABELAS
TABELA 1 – LIMIARES DE CONDUÇÃO PARA DIFERENTES CONDIÇÕES DE EVAPORAÇÃO.…........................................................................................ 46
TABELA 2 – CARACTERÍSTICAS DAS AMOSTRAS DA SÉRIE 1…................ 47
TABELA 3 – CARACTERÍSTICAS DAS AMOSTRAS DA SÉRIE 2…................ 49
TABELA 4 – CARACTERÍSTICAS DAS AMOSTRAS DA SÉRIE 3…................ 51
TABELA 5 – PARÂMETROS DE FITTING DOS DADOS EXPERIMENTAIS…. 65
TABELA 6 – MEDIDAS DE CAPACITÂNCIA ENTRE OS TERMINAIS DO TRANSISTOR…................................................................................................. 66
LISTA DE SIGLAS
MO Orbital Molecular, do inglês, Molecular Orbital
LUMO Orbital Molecular Não-Ocupado Mais Baixo, do inglês, Lowest
Unnocupied Molecular Orbital
HOMO Mais Alto Orbital Molecular Ocupado, do inglês, Highest Occupied
Molecular Orbital
MOS Metal-Óxido-Semicondutor
FET Transistor de Efeto de Campo, do inglês, Field Effect Transistor
TFT Transistor de Filme Fino, do inglês, Thin Film Transistor
LED Diodo Emissor de Luz, do inglês, Light Emitting Diode
AFM Microscópio de Força Atômica, do inglês, Atomic Force Microscope
I-V Corrente por Tensão
ASIC Circuito Integrado de Aplicação Específica, do inglês, Application
Specific Integrated Circuit
VOFET Transistor Orgânico Vertical de Efeito de Campo, do inglês, Vertical
Organic Field Effect Transistor
VG Potencial de porta (do inglês, Gate Voltage)
VD Potencial de dreno (do inglês, Drain Voltage)
VS Potencial de fonte (do inglês, Source Voltage)
VB Potencial de volume (do inglês, Bulk Voltage)
VT Potencial de limiar (do inglês, Threshold Voltage)
VP Potencial de pinçamento (do inglês, Pinch-off Voltage)
SUMÁRIO
1 INTRODUÇÃO…............................................................................................. 11
2 FUNDAMENTAÇÃO E REVISÃO BIBLIOGRÁFICA….................................. 21
2.1 CAPACITOR METAL-ÓXIDO-SEMICONDUTOR (MOS)….......................... 21
2.2 TRANSISTOR DE EFEITO DE CAMPO (FET) PLANAR….......................... 24
2.3 MODELO DE PEQUENOS SINAIS…........................................................... 27
2.4 RESISTÊNCIA DE CONTATO…................................................................... 30
2.5 TRANSISTOR FET VERTICAL….................................................................. 33
2.6. ISOLANTE DE PORTA….......................................................................…... 37
3 ESTUDO DO ELETRODO PERMEÁVEL........................................................ 40
3.1 ANÁLISE….................................................................................................... 40
3.2 PROCEDIMENTO EXPERIMENTAL…......................................................... 42
3.2.1 Substrato…................................................................................................ 42
3.2.2 Evaporação…............................................................................................ 43
3.3 IMAGENS DE MICROSCOPIA DE FORÇA ATÔMICA…............................. 47
3.3.1 Série 1 – Distância de 7 cm…................................................................... 47
3.3.2 Série 2 – Distância de 10 cm…................................................................. 49
3.3.3 Série 3 – Distância de 16 cm…................................................................. 51
4 ESTUDO DO DISPOSITIVO…......................................................................... 55
4.1 PROCEDIMENTO EXPERIMENTAL…......................................................... 56
4.2 ANÁLISE E MEDIDAS ELÉTRICAS….......................................................... 58
4.2.1 Dispositivos com C60 como semicondutor…............................................. 58
4.2.2 Tratamento do eletrodo…........................................................................... 61
4.2.3 Dispositivos com CuPc como semicondutor............................................... 63
4.2.3.1 Característica de Saída…....................................................................... 64
4.2.3.2 Capacitâncias…....................................................................................... 66
4.2.3.3 Característica de Transferência…........................................................... 67
4.2.3.4 Histerese de Transferência….................................................................. 68
5 CONCLUSÕES…............................................................................................ 70
REFERÊNCIAS…............................................................................................... 72
APÊNDICES….................................................................................................... 75
11
1 INTRODUÇÃO
Grande parte dos avanços obtidos pela humanidade nas últimas décadas tem
forte relação com a tecnologia da informação, que é fundamentalmente baseada em
dispositivos eletrônicos como o transistor. Diversos avanços científicos e industriais
também só foram possíveis pelo controle sobre processos na escala de
nanosegundos, que é proporcionado por processadores operando em frequências
de vários gigahertz.
O estado atual da eletrônica só foi atingido com a obtenção de circuitos
integrados de boa qualidade, capazes de agrupar milhares de dispositivos
interconectados em um único cristal de silício de dimensões milimétricas. A invenção
dos circuitos integrados ocorreu ao longo dos anos de 1950 a 1960. Os primeiros
trabalhos e técnicas foram reportados por Hoerni, Lehovec, Noyce e Kilby, que
contribuíram com diferentes partes do desenvolvimento, porém somente ao último
foi atribuído o Prêmio Nobel de Física de 2000 pela invenção dos circuitos
integrados.
O avanço porém parece ter atingido um limite fundamental, à medida que as
dimensões dos dispositivos se aproximam do nível atômico. A famosa “Lei de Moore”
[1] estabelece que o número de transistores compondo funções digitais que a
indústria é capaz de integrar em um único dispositivo duplica a cada dois anos, essa
medida vinha obtendo uma coerência surpreendente com o avanço tecnológico nos
processos de fabricação, porém não está mais sendo alcançada.
Na eletrônica do silício comercial, o dispositivo que compõe a quase
totalidade dos circuitos digitais e analógicos integrados é o transistor de efeito de
campo planar com dióxido de silício como isolante do eletrodo de porta, do inglês
Metal-Oxide-Semicondutor Field-Effect Transistor (MOSFET). A construção desse
dispositivo se baseia em técnicas avançadas de litografia, implantação de íons e
crescimento de semicondutores monocristalinos, o que eleva o custo de fabricação
de um único lote para algumas dezenas de milhares de dólares (2015). Este custo é
contrabalanceado com a redução da área total dos circuitos integrados, resultando
em milhares de unidades por rodada ou até dezenas de milhares, o que traz o custo
unitário a valores da ordem de alguns dólares.
12
A complexidade dos processos de fabricação associada principalmente a
custos e treinamento de pessoal dificulta a instalação de novas fábricas de
semicondutores integrados (frequentemente referidas pelo termo inglês Foundries),
de tal forma que o único esforço na América Latina para instalação de um processo
moderno de fabricação em tecnologias medianas (CEITEC) tarda a entrar em
funcionamento. Na ausência de uma indústria nacional de semicondutores, países
em desenvolvimento como o Brasil recorrem à importação de grande volume de
equipamentos e componentes eletrônicos.
Além dos obstáculos econômicos, os tempos entre projeto, fabricação, testes
e correções de novos circuitos integrados são elevados, geralmente na ordem de
alguns meses. Para evitar este longo e custoso ciclo de desenvolvimento, o projeto
de novos circuitos para aplicações específicas (sigla inglesa ASICs, Application
Specific Integrated Circuits) é evitado, sendo preferida a aplicação de soluções
comerciais encapsuladas já estabelecidas no mercado a algum tempo, muitas vezes
por décadas, nem sempre representando uma solução ótima do ponto de vista
tecnológico. Essa inércia no processo dificulta a implantação de soluções em
problemas mais simples encontrados em indústrias, veículos e residências que
frequentemente requerem circuitos de mais baixo desempenho comumente referidos
pelo termo em inglês low-end.
Ao levarmos em conta a complexidade dos processos envolvidos na
fabricação de dispositivos semicondutores cristalinos, torna-se interessante o estudo
de alternativas baseadas em materiais e processos mais acessíveis.
O uso de moléculas orgânicas é uma das alternativas que passou a ser
intensamente estudada nas últimas décadas, apesar de os primeiros trabalhos
serem muito anteriores. O número de publicações na área vem aumentando desde a
descoberta dos polímeros condutores em 1977 por Alan J. Heeger, Alan MacDiarmid
and Hideki Shirakawa, trabalho que resultou no Prêmio Nobel de Química de 2000.
Com o uso desses materiais, inúmeros trabalhos tentam produzir dispositivos
eletrônicos similares àqueles bem estabelecidos na eletrônica do silício para
possibilitar uma nova eletrônica de baixo custo, flexível, usando solventes não-
tóxicos entre outras vantagens, através de técnicas de processamento em grande
área [2], [3]. Além do uso destes polímeros e moléculas menores na construção de
13
transistores, várias outras aplicações têm assumido grande importância nos
trabalhos científicos e tecnológicos atualmente, por exemplo em células
fotovoltaicas, diodos emissores de luz, displays flexíveis e sensores.
O mecanismo de transporte de carga nos materiais moleculares é diferente
daquele observado em metais e semicondutores como silício e germânio. Nos
materiais cristalinos, temos uma estrutura de bandas contínuas de energia, em que
se pode descrever o transporte de elétrons na banda de condução e lacunas na
banda de valência em função da física estatística como se fossem um gás confinado
a uma caixa. Os níveis energéticos dentro destas bandas estão associados a
estados altamente delocalizados formados pela superposição de um número
indefinidamente grande de orbitais moleculares (MO).
A formação de orbitais moleculares se dá a partir da combinação de orbitais
atômicos, e representa o mecanismo pelo qual as ligações químicas são formadas.
Os orbitais atômicos são uma representação das funções de onda dos elétrons
ligados ao núcleo atômico, sendo que seus formatos representam a região em que
há maior probabilidade de encontrarmos a partícula. Podemos obter essas regiões
através da solução da equação de Schroedinger para o potencial de interação entre
as partículas e calculando o valor de ∣ψ2∣ , que está associado a à densidade de
probabilidade mencionada [4]. A característica espacial de ∣ψ2∣ associada aos
quatro primeiros tipos de orbitais atômicos (s, p, d e f) é vista na FIGURA 1, onde
estão classificados em função de números quânticos associados à energia e
momento angular.
14
FIGURA 1 – FORMATO DOS ORBITAIS ATÔMICOS denominados s, p, d e f, também referidos pelos números de 0 a 3, respectivamente. Fonte: wikipedia.org
Os dois primeiros orbitais mostrados são os mais importantes para estudo de
condutores moleculares, pois compõem a maior parte das ligações químicas nestes
materiais. Isso é uma consequência do fato de que estes materiais são
majoritariamente compostos por átomos de carbono, que possuem apenas orbitais
's' e 'p' em sua estrutura atômica.
Na estrutura final de níveis de energia da molécula, são definidos dois orbitais
chamados de orbitais de fronteira. Um destes orbitais representa o mais alto nível de
energia ainda ocupado por elétrons no estado fundamental da molécula. Referimo-
nos a este orbital pela sigla HOMO, do inglês Highest Occupied Molecular Orbital. O
próximo nível de energia também é importante, por ser o orbital de mais baixa
energia não ocupado e, portanto, mais acessível para a promoção de elétrons a
partir dos orbitais de energias mais baixas. Referimo-nos a esse orbital pela sigla
LUMO, do inglês Lowest Unnocupied Molecular Orbital.
Os orbitais de fronteira definem grande parte das propriedades eletrônicas e
óticas da molécula, apresentando uma característica muito similar às bandas
observadas em materiais cristalinos. Apesar de existirem diversos outros níveis
energéticos acessíveis e ocupados, podemos simplificar muito as análises
15
assumindo somente a presença destes dois orbitais moleculares e de um elétron
capaz de se deslocar entre os dois níveis.
As combinações de orbitais atômicos 's' e 'p' produzem orbitais moleculares
que são geralmente separados em ligações σ (letra grega sigma) e π (letra grega
pi), baseado na distribuição espacial da densidade probabilidade. A ligação σ tem
similaridade com o orbital 's', com a maior densidade de probabilidade se
concentrando no eixo entre os dois átomos. A ligação π, tem similaridade com o
orbital 'p', de tal forma que a densidade de probabilidade se concentra paralelamente
ao eixo.
A combinação de orbitais atômicos em pares produz dois novos orbitais,
chamados de ligante e anti-ligante, que possuem distribuições espaciais da
densidade de probabilidade e energias diferentes, conforme mostrado na FIGURA 2.
A ligação química é associada ao orbital ligante, que possui um nível de energia
menos elevado, e portanto mais estável. O orbital anti-ligante (marcado pelo
asterisco) possui um nível de energia mais elevada que o nível atômico, em geral
permanecendo desocupado no estado fundamental da molécula. Os elétrons
presentes nos orbitais atômicos passam a popular o orbital ligante, obedecendo ao
princípio de exclusão de Pauli. Essa situação permanece estável até que algum
fenômeno, como a interação com um fóton, conceda energia suficiente ao elétron
para promovê-lo a outro orbital molecular ou até mesmo removê-lo da molécula.
16
FIGURA 2 – FORMAÇÃO DOS ORBITAIS LIGANTE E ANTI-LIGANTE. Esquerda: Formação dos orbitais σ e σ* a partir de orbitais 's'. Direita: Formação dos orbitais π e π* a partir de orbitais 'p'. As setas representam o spin do elétron, sendo que cada nível tem degeneração dupla. Observar que o desdobramento de energia é menor para os orbitais π. Fonte: wikipedia.org
As ligações σ são as mais fortes, o que é um reflexo da maior superposição
dos orbitais atômicos e consequente maior separação energética entre o nível do
orbital atômico original e o nível do orbital ligante. Sua característica simétrica
permite uma rotação livre da molécula em torno da ligação. As ligações π
geralmente se formam após a formação de uma ligação σ, daí o fato de estarem
associadas às ligações duplas. Como o orbital π não apresenta simetria axial, a
rotação da molécula em torno do eixo de ligação não é livre, sendo necessária a
quebra da ligação. Estas ligações são mais fracas que as ligações σ, pois
apresentam menor separação energética, porém são muito mais importantes do
ponto de vista das propriedades de transporte eletrônico e óticas no visível da
molécula.
A importância das ligações π vem do fato de elas comporem os chamados
sistemas π-conjugados, que são caracterizados pela alternância de ligações simples
e duplas em longas cadeias atômicas. Exemplos desses sistemas são anéis
benzênicos, tiofenos e algumas cadeias lineares de carbonos, representados na
FIGURA 3. Uma leitura introdutória abordando estas estruturas está disponível em
[5].
17
FIGURA 3 – EXEMPLOS DE SISTEMAS CONJUGADOS CÍCLICO E NÃO-CÍCLICO.
Nos sistemas π-conjugados existe uma região de sobreposição entre ligações
π adjacentes, de tal forma que os elétrons que populam estes orbitais não
pertencem somente a uma ligação, mas a um grupo de átomos (FIGURA 4). A
presença de conjugação π permite a um único elétron ser compartilhado entre todos
os átomos que compõem o sistema, alternando a sequência de ligações simples e
duplas, esses elétrons são geralmente denominados elétrons π. A delocalização do
elétron implica em uma maior mobilidade de carga no material quando sujeito a um
campo elétrico. Diversos modelos [6], [7] existem para tentar descrever o transporte
de cargas nesses materiais, porém seus detalhes estão além do escopo desse
trabalho.
FIGURA 4 – ILUSTRAÇÃO DA COMBINAÇÃO DE ORBITAIS π EM UM
ANEL BENZÊNICO. Fonte: wikipedia.org
Quanto mais longa a cadeia conjugada, maior a região que o elétron pode se
deslocar sem se desligar da molécula quebrando suas ligações químicas. Em face
18
disso, a maximização da extensão da cadeia conjugada é um dos métodos para
obtenção de um condutor molecular, o que pode ser obtido com o uso de polímeros
condutores.
Um polímero é uma macromolécula formada por uma sequência de várias
(dezenas a milhares) unidades de repetição chamadas meros, interligadas por
ligações covalentes. A formação de uma cadeia atômica longa é útil para criação de
moléculas com propriedades únicas, tanto mecânicas quanto eletrônicas.
A formação dessas cadeias, chamada polimerização, geralmente se dá em
solução. Alguns processos incluem aplicação de potenciais elétricos, nesse caso
usa-se o termo eletropolimerização. Essa condição é interessante para eletrônica
em grande área, já que o processo é simples em comparação aos processos
necessários para deposição de outros materiais condutores.
Conforme mencionado anteriormente, a delocalização elevada garante que
um portador de carga possa se deslocar facilmente pela estrutura da molécula,
porém o transporte de carga no material depende também da facilidade com que um
portador pode saltar entre diferentes moléculas. Esse salto depende da distância
entre sítios de alta mobilidade presentes em moléculas diferentes, além de outros
fatores associados ao acoplamento dos estados quânticos de origem e destino. O
aumento do acoplamento entre moléculas pode ser obtido com o uso de moléculas
planares ou que possuam uma tendência a uma conformação favorável entre
moléculas vizinhas, possivelmente produzindo um material semicristalino. Em casos
nos quais o acoplamento é muito elevado, mesmo moléculas pequenas com
sistemas conjugados de dimensões menores podem ser usadas como materiais
condutores ou semicondutores. Essa situação é interessante devido ao fato de que
estes materiais, ao contrário dos polímeros, são compatíveis com o uso de
evaporação térmica para formação de filmes finos [8], uma técnica viável para
produção em grande escala.
Como as interações entre moléculas deslocam seus níveis energéticos de
maneiras aleatórias, observamos no volume do material um espalhamento das
energias dos orbitais moleculares em torno dos valores previstos para moléculas
isoladas. Quando estas interações são descorrelacionadas, podemos assumir uma
distribuição gaussiana, sendo que o alargamento da distribuição de estados está
19
associada a uma maior desordem na estrutura do material. A FIGURA 5 mostra as
densidades de estados idealizadas para materiais moleculares em comparação aos
materiais cristalinos.
FIGURA 5 – DENSIDADES DE NÍVEIS DE ENERGIA PARA OS CASOS MOLECULAR E CRISTALINO. Esquerda: Caso molecular, distribuição gaussiana associada ao espalhamento dos níveis energéticos de orbitais moleculares. Direita: Caso cristalino, bandas contínuas, com a densidade aumentando proporcionalmente com a raiz quadrada da energia.
Esta estrutura energética diferenciada pode implicar na não-validade dos
modelos de transporte bem estabelecidos para materiais cristalinos, onde podemos
descrever densidades de correntes em função de fenômenos de difusão e de arrasto
dos portadores sujeitos a um campo elétrico. É possível, porém, traçar alguns
análogos para o transporte entre moléculas, que acabam apresentando bastante
similaridade com os resultados clássicos da eletrônica em materiais cristalinos.
Outra diferença de grande importância ocorre no controle das densidades de
portadores através de dopagem com impurezas doadoras ou aceitadoras, técnica
comumente usada na eletrônica do silício. A dopagem de polímeros pode ser feita
por reações de redução e oxidação, porém frequentemente é evitada por implicar na
piora de outras características associadas ao transporte eletrônico no material. É
importante observar que a dopagem também pode surgir de efeitos colaterais como
a presença de defeitos e impurezas provenientes de solventes ou do próprio ar
atmosférico. Portanto, materiais que apresentam esse tipo de susceptibilidade
podem apresentar um caráter 'p' ou 'n' quando expostos a condições diferentes.
Frequentemente é feita a distinção entre semicondutores moleculares tipo 'p' e 'n'
por critérios diferenciados. Por exemplo, podemos classificar os materiais em função
20
dos valores das mobilidades para elétrons e lacunas, que diferentemente dos
semicondutores cristalinos, podem diferir por ordens de grandeza.
Apesar das vantagens associadas ao uso de materiais moleculares, inúmeras
dificuldades precisam ser vencidas para viabilizar sua aplicação prática na indústria.
Materiais como o silício monocristalino apresentam mobilidades de elétrons e
lacunas da ordem de 103 cm2 V-1 s-1, porém os semicondutores orgânicos mais
acessíveis apresentam valores várias ordens de grandeza abaixo. Os valores típicos
para mobilidades de portadores em materiais moleculares estão em uma faixa de 10-
5 cm2 V-1 s-1 a 1 cm2 V-1 s-1, porém não há um parâmetro estabelecido, já que diversos
avanços vem sendo obtidos na melhoria desses valores. Estas limitações
geralmente estão associadas à presença de desordem e armadilhas eletrônicas na
estrutura do material, sendo que trabalhos mais recentes apresentam mobilidades
mais altas [9] usando métodos para alinhamento das cadeias poliméricas. Com a
ordenação destas cadeias, é possível obter mobilidades da ordem de 50 cm2 V-1 s-1.
Nessas condições, os transistores orgânicos atuais dificilmente competem
com suas contrapartes inorgânicas. Os valores de correntes elétricas, capacidade de
modulação, ganhos de corrente e tensão, frequência de operação, entre outras
características, geralmente ficam várias ordens de grandeza abaixo daqueles
obtidos em silício. Em face disso, se faz necessário um estudo fundamental dos
fenômenos de transporte que leve à descoberta de novas estruturas e técnicas
capazes de contornar as deficiências destes materiais.
21
2 FUNDAMENTAÇÃO E REVISÃO BIBLIOGRÁFICA
Existem, na literatura, diversos trabalhos em que a modelagem de
transistores baseados em semicondutores monocristalinos é abordada em detalhes.
Como os fenômenos associados a este dispositivo são bem conhecidos, é comum o
uso destes modelos aos dispositivos construídos com materiais moleculares. Apesar
dessa abordagem ser questionável do ponto de vista fundamental, os resultados
obtidos têm estabelecido parâmetros para os avanços na área.
Do ponto de vista de aplicação, é de extrema importância a modelagem
sintética dos fenômenos principais que ocorrem em qualquer dispositivo eletrônico,
já que a construção de circuitos complexos a partir destes dispositivos se baseia em
aproximações válidas em regiões de operação bem definidas. Em outras palavras,
os modelos simplificados estabelecem uma linguagem para a comunicação entre o
desenvolvimento de dispositivos e o desenvolvimento de circuitos eletrônicos
baseados nestes dispositivos. Isso dito, espera-se motivar o leitor a atentar a
algumas análises feitas nesse capítulo, que se aplicam à modelagem de dispositivos
eletrônicos em geral.
Podemos descrever o funcionamento dos transistores de efeito de campo
(FETs) e outros dispositivos eletrônicos construídos com materiais semicondutores
em função de algumas estruturas simples como as junções retificadores e o
capacitor metal-semicondutor, que serão abordados de uma maneira sucinta a
seguir. Ao final, é feito um estudo do dispositivo proposto para estudo nos capítulos
seguintes, com base em alguns resultados de autores anteriores.
2.1 CAPACITOR METAL-ÓXIDO-SEMICONDUTOR (MOS)
O funcionamento dos transistores de efeito de campo geralmente está
associados à estrutura de série de capacitores que se forma entre um eletrodo
condutor e um meio semicondutor. O nome do dispositivo vem do efeito do campo
22
elétrico sobre as cargas na superfície do semicondutor mesmo sem a existência de
contato elétrico. A estrutura mais comum é o capacitor MOS (do inglês, Metal-Oxide-
Semiconductor), onde o isolamento elétrico entre o metal e o semicondutor é obtido
a partir da produção de uma fina camada de óxido a partir do próprio semicondutor.
O esquema em corte dessa estrutura é visto na FIGURA 6.
FIGURA 6 – COMPONENTES DO CAPACITOR MOS.
Assumindo que a espessura do filme isolante é muito pequena em
comparação às dimensões no plano, podemos considerar o caso simplificado de
placas paralelas, com o contato de porta como um condutor ideal e o óxido de porta
como um isolante ideal e isotrópico. Campos elétricos produzidos pelas cargas
acumuladas no eletrodo de porta serão rapidamente atenuados à medida que
penetram no semicondutor, devido às cargas livres presentes no material. Essa
profundidade de penetração dos campos é, em geral, da ordem de alguns micro
metros, considerando os parâmetros comuns da eletrônica do silício.
Assumindo a neutralidade no volume do semicondutor, o número de cargas
induzido na superfície do metal deve ser compensado pelo mesmo número de
cargas com sinal oposto induzido na região de penetração do campo na interface
entre isolante e semicondutor. A comparação da densidade de cargas induzidas com
a densidade de portadores de carga no semicondutor neutro permite separar as
situações do canal em três, conforme a representação da FIGURA 7.
23
FIGURA 7 – VARIAÇÃO DAS CONDIÇÕES DE POLARIZAÇÃO DA INTERFACE. Exemplo para um semicondutor tipo 'p', onde VFB é o potencial de equilíbrio entre os materiais de porta e semicondutor e VT é o mínimo potencial de porta para iniciar a inversão do semicondutor.
Considerando o tipo do material, dizemos que ocorre acumulação quando o
potencial atrai mais portadores majoritários, depleção quando o número de
portadores majoritários se aproxima do número de minoritários e inversão quando os
portadores majoritários são suplantados pelos portadores minoritários. A maioria dos
FETs comerciais operam em inversão, porém a região de acumulação é de interesse
para muitos dispositivos em eletrônica molecular devido às assimetrias nos valores
de mobilidades de portadores nos semicondutores disponíveis.
Com o aumento da densidade de cargas livres na interface, considera-se que
um canal condutor é formado nessa região. A variação do potencial aplicado permite
modular a quantidade de cargas disponíveis na superfície, fazendo o canal mais ou
menos condutor e possibilitando então a criação de um dispositivo transcondutor. O
número de cargas induzidas é uma função relativamente complexa das
características do semicondutor e do isolante. Na condição de inversão, acima de
um potencial de limiar VT, a densidade pode ser considerada função linear do
potencial aplicado, com uma constante de proporcionalidade Ci dada pela
capacitância do isolante, nesse caso, do óxido. Assim, pode-se escrever:
Qinv=Ci(VG−VT ) (1)
Uma das conclusões mais importantes obtidas da equação (1) é que as
características de capacitância do isolante de porta afetam linearmente a modulação
de cargas no canal formado no semicondutor. Essa capacitância pode ser estimada
24
pelo modelo de placas paralelas, sendo proporcional à constante dielétrica do
isolante, à área de sobreposição do eletrodo e do semicondutor e inversamente
proporcional à espessura do isolante.
2.2 TRANSISTOR DE EFEITO DE CAMPO (FET) PLANAR
Com a adição de contatos laterais na estrutura do capacitor MOS, podemos
usar o canal de cargas induzidas para conduzir correntes no sentido lateral. Essa
estrutura caracteriza o dispositivo conhecido como transistor de efeito de campo em
arquitetura planar, visto na FIGURA 8. Os contatos adicionais são denominados
dreno (ligado ao potencial VD) e fonte (ligado ao potencial VS), e são constituídos por
uma região de dopagem inversa ao substrato. Esta dopagem inversa proporciona
uma condutância extremamente baixa entre os dois terminais quando não há
inversão do canal.
A neutralidade do substrato é mantida pelo contato de volume (ligado ao
potencial VB). No caso do dispositivo de canal 'n', o contato de volume é mantido
geralmente a um potencial inferior aos demais e no caso do dispositivo de canal 'p' é
mantido a um potencial mais elevado. Essa configuração garante a inversão das
junções p-n existentes entre o volume e os contatos de dreno e fonte, evitando a
circulação indesejável de correntes nessa região.
FIGURA 8 – ESQUEMA EM CORTE LATERAL DE UM MOSFET PLANAR CANAL 'N'.
É feita a distinção entre diferentes regiões de operação em função dos
potenciais aplicados ao dreno e porta do dispositivo. Quando o potencial de porta
25
está abaixo de um certo valor de limiar, ao qual denominamos VT, diz-se que o
dispositivo está na região sub-limiar, em que a condutância do canal é baixa devido
à pequena densidade de cargas livres no trajeto entre os terminais de fonte e dreno.
Com um potencial de porta acima desse limiar, podemos ter duas situações
em relação ao potencial de dreno; o regime linear e o regime de saturação. Com a
aplicação de diferença de potencial aos contatos laterais, surge um campo elétrico
no sentido planar. Naturalmente, o campo elétrico planar aplicado tende a reorientar
os portadores e induzir o maior acúmulo em um dos lados do dispositivo em
detrimento da redução de portadores de carga no lado oposto. A partir de um certo
potencial, ao qual denominamos VP, a falta de portadores em um dos lados do canal
começa a limitar a corrente devido à alta resistência da região de depleção, essa
condição é conhecida pelo termo inglês pinch-off, devido à noção de pinçamento do
canal condutor.
Abaixo desse potencial de dreno, temos o regime linear (também chamado
regime ômico), em que a corrente do canal depende tanto dos potenciais de porta
quanto de dreno de acordo com a equação:
ID=W
LμCi(VG−VT )VD , (2)
onde W é a largura do canal, L o comprimento, μm é a mobilidade dos portadores
majoritários – nesse caso elétrons, e Ci é a capacitância por unidade de área do
óxido isolante.
Para um potencial de dreno acima de VP, dizemos que a corrente de canal do
dispositivo atinge saturação (diz-se também que o dispositivo opera na região ativa).
Nessa situação, a corrente pode ser considerada função somente do potencial de
porta, temperatura e características do dispositivo, podendo ser descrita pela
equação:
IDsat=W
LmμmCi (VG−VT )2 , (3)
onde m é uma função da densidade de dopantes, próximo de ¹/2 para baixas
26
dopagens. É importante notar que esta equação desconsidera diversos efeitos que
deixam de ter importância na região de saturação, como modulação da largura de
canal, variação da mobilidade em função do campo, entre outros. Portanto medidas
experimentais obtidas em regime linear não podem ser comparadas com esse
resultado.
FIGURA 9: (A-C) DISTRIBUIÇÃO DE CARGAS NO CANAL EM DIFERENTES POLARIZAÇÕES DE DRENO. (D) COMPORTAMENTO ELÉTRICO IDEALIZADO DA CORRENTE DE DRENO.
Essa abordagem em diferentes regiões de operação é útil para a aplicação e
análise simplificada das propriedades do dispositivo, porém um modelo completo é
necessário para descrever o comportamento do dispositivo nas regiões
intermediárias. Estudos mais elaborados podem ser vistos em [10], [11].
A maior partes dos transistores orgânicos [12] descritos na literatura se
baseiam na arquitetura planar, algumas vezes com a adição de isolantes ou
semicondutores inorgânicos, nas chamadas estruturas híbridas. Na maioria dos
casos, os dispositivos sofrem de severas limitações relativas à frequência de
operação ou necessitam altas diferenças de potencial elétrico para entrar em
funcionamento. Boa parte das dificuldades está associada ao transporte de cargas
próximo à interface entre o semicondutor e o isolante, sendo que diversas
abordagens vêm sendo tomadas para combater a formação de defeitos nessa
região, geralmente resultando em ganhos menores que uma ordem de grandeza
[13].
Um detalhe importante é que nos transistores de filme fino (TFTs) em geral, o
27
contato de volume não é acessível, já que na verdade não há um volume que pode
ser considerado neutro. Isso pode implicar em uma perda de simetria, já que os
potencias precisam ser referidos ao contato de fonte.
2.3 MODELO DE PEQUENOS SINAIS
Conforme mencionado no início do capítulo, a modelagem de dispositivos
eletrônicos é feita em função de modos de operação, sendo que em cada caso,
características diferentes do dispositivo são ressaltadas. O desenvolvimento de
transistores deve, portanto, ter em vista a maximização dos parâmetros destes
modelos; daí a importância do seu conhecimento não somente pelos projetistas de
circuitos, mas também por aqueles que desenvolvem os dispositivos.
Frequentemente os transistores podem ser aplicados em dois modos de
operação, chaveado ou linear. Em cada modo, podemos considerar certas
aproximações para o seu comportamento elétrico a fim de facilitar a análise de
circuitos maiores. Existem outras formas de utilização dos transistores para fins
específicos, como sensoreamento, geração de referências, memórias e etc. que não
necessariamente se encaixam nessas aproximações.
O modo mais simples é o modo chaveado, em que consideramos que existem
duas situações de polarização elétrica no dispositivo, uma em que a tensão de porta
forma o canal de condução e altas correntes podem circular entre dreno e fonte e
outra em que o canal é desfeito e o dispositivo passa apresentar alta resistência
entre estes dois terminais. Nesse modo de operação, nos importa somente saber
qual a razão entre as correntes de canal nos dois estados e quais são os limites de
potências que o dispositivo pode dissipar sem sofrer degradação. Esse modo é
aplicado em lógica digital, conversão de potência, acionamento de máquinas, entre
outros.
O modo linear é aplicado em circuitos amplificadores de sinais, reguladores,
sensores e outros. Nesse modo de operação, existe uma corrente quiescente que
circula continuamente no dispositivo, bem como valores base para as tensões de
28
dreno e porta, chamados de polarização do dispositivo. A aplicação de pequenas
oscilações em torno desses valores de polarização produzem resposta nos outros
terminais que podem estar amplificadas em várias ordens de grandeza, filtradas em
frequência, somadas a outros sinais, etc..
Para essas análises em termos de funções de transferência lineares, usamos
modelos de pequenos sinais, que levam em conta as derivadas das correntes e
tensões em torno do ponto de polarização, bem como efeitos capacitivos e indutivos
parasitários para uma análise em termos de circuitos elétricos idealizados. Em
síntese, podemos dizer que se trata de uma análise de perturbação em primeira
ordem em torno do ponto de polarização. Esta abordagem só tem validade para
sinais de pequenas amplitudes, porém, é bastante utilizada e apresenta resultados
bastante precisos na maioria dos casos.
FIGURA 10 – MODELO DE PEQUENOS SINAIS
O modelo apresentado na FIGURA 10 é um dos mais usados no
desenvolvimento de circuitos lineares. Nele são considerados alguns dos
parâmetros mais importantes, porém poderiam ser agregados diversos outros
ligados a fenômenos físicos variados. Em muitos casos ainda é possível
desconsiderar a maioria dos parâmetros, mantendo somente um ou dois dos
parâmetros de maior importância para uma dada aplicação.
Um dos parâmetros de maior importância é a transcondutância, que regula a
variação da corrente de dreno em função do potencial de porta, sendo definido pela
29
derivada calculada em torno do ponto de polarização:
gm=d IDS
d VGS
(4)
O resistor RGS em conjunto com o capacitor CGS sintetizam os parâmetros de
qualidade do isolamento do eletrodo de porta, bem como seu acoplamento com o
canal. Seria desejável uma capacitância elevada nesse contato para que a
transcondutância do dispositivo fosse maximizada, porém daí se observa que
existem efeitos adversos, já que os sinais de frequências maiores aplicados a este
contato serão atenuados pela presença de capacitâncias elevadas.
O resistor RDS representa a variação da corrente de dreno em função da
variação do próprio potencial de dreno, em geral considerado um efeito indesejável:
RDS=dVDS
dI DS
(5)
Nesse parâmetro podemos incluir efeitos de não-saturação do transistor.
Conforme observado anteriormente, a saturação da corrente de canal é obtida com
aplicação de um potencial VDS suficientemente elevado. Portanto, quando essa
situação não é atingida, precisamos levar em consideração a redução dessa
resistência. Além disso, a presença de efeitos parasitários tende a reduzir o valor de
RDS mesmo na condição de saturação, limitando o desempenho em amplificação
linear do dispositivo. O produto entre RDS e gm é chamado ganho intrínseco. Esse
valor dá uma ideia do máximo ganho de tensão que o dispositivo poderia realizar
quando o restante dos parâmetros do circuito de amplificação são considerados
ideais. Daí temos que a maximização desses dois valores é de fundamental
importância para o dispositivo operando em regime linear na maioria das aplicações,
principalmente na amplificação de pequenos sinais.
Finalmente, o acoplamento capacitivo entre o dreno e porta é considerado
pela inclusão do capacitor CDG. Entre os efeitos capacitivos que podem reduzir
seriamente a resposta em frequência do transistor, este representa um dos mais
importantes, já que acopla diretamente a entrada e saída de circuitos amplificadores
30
em vários casos.
É notável que a maioria das tecnologias de FETs planares historicamente
sofreu de limitações drásticas em frequência devido a características intrínsecas da
construção, que geram regiões de sobreposição entre o eletrodos. De fato, a
tecnologia CMOS só atingiu grande aplicação comercial quando foi introduzida a
tecnologia de contato de porta auto-alinhado. Esse efeito é ainda mais pronunciado
em dispositivos flexíveis experimentais na atualidade, que em geral não usam
técnicas de litografia avançadas, sendo frequente a obtenção de dispositivos com
áreas de sobreposição maiores que o próprio canal. Essa elevação das
capacitâncias parasitárias pode trazer os tempos de transição de dispositivos
plásticos de mais larga área à escala de segundos [14].
2.4 RESISTÊNCIA DE CONTATO
Quando materiais diferentes são postos em contato elétrico, pode surgir uma
barreira de potencial para o transporte de cargas através da interface entre os
materiais, dependendo de suas propriedades eletrônicas. Esta barreira é observada
macroscopicamente como uma resistência de contato, que pode ser indesejável,
como quando se trata da interligação de transistores por condutores metálicos, ou
desejável, como em diodos de retificação.
A resistência de contato está associada à diferença de nível energético entre
as bandas dos dois materiais. Podemos ter uma situação de barreira de potencial
quando um elétron passa de um nível energético mais baixo para um nível mais alto
ou quando uma lacuna passa de um nível energético mais alto para um outro mais
baixo.
Em interfaces entre metais e semicondutores orgânicos, a barreira energética
para o transporte de elétrons (φBe) é igual à diferença entre a função trabalho do
metal e o nível LUMO do semicondutor. A barreira para lacunas (φBl) é dada pela
diferença entre a função trabalho e o nível HOMO do semicondutor, tomando o
cuidado de levar em consideração as cargas opostas dos portadores. Estas
31
barreiras estão representadas no diagrama antes do contato elétrico mostrado na
FIGURA 11.
FIGURA 11 – ENERGIAS E BARREIRAS DE POTENCIAL ASSOCIADAS À INTERFACE METAL-SEMICONDUTOR. Esquema antes do contato, onde φM é a função trabalho do metal, φBe é a barreira para elétrons e φBl a barreira pra lacunas.
Em geral, tenta-se reduzir a resistência de contato nos dispositivos planares,
para que a corrente dreno-fonte seja limitada somente pela condutividade do canal
induzido pelo potencial de porta. Isso é feito pelo alinhamento da função trabalho do
metal com o nível LUMO, para dispositivos operando com transporte de elétrons, e
com o nível HOMO, para dispositivos operando com transporte de lacunas.
Em materiais cristalinos, temos que a corrente através de junções metal-
semicondutor geralmente pode ser descrita em função da teoria de emissão
termiônica de Bethe ou pela teoria de difusão de portadores através de uma região
de depleção de Schottky. A teoria da difusão descreve melhor a injeção em materiais
com baixa mobilidade e a teoria termiônica é mais apropriada para materiais de alta
mobilidade [15]. Ambas resultam na mesma dependência exponencial com a tensão
aplicada demonstrada na equação (6), diferindo apenas no cálculo da corrente
característica.
I=I 0[exp ( qV a
ηkBT )−1] , (6)
onde I0 é a corrente característica ou de saturação, q é a carga elementar, η é um
fator de não idealidade, kB é a constante de Boltzmann, T a temperatura absoluta e
32
Va é a diferença de potencial elétrico aplicado. O fator de não idealidade é
comumente incluído para comparação com dispositivos reais e costuma estar entre
valores de um a dois para semicondutores cristalinos comerciais. A corrente
característica é um dos termos mais importantes e depende principalmente da
barreira de potencial na interface, sendo que na teoria termiônica é calculado pela
equação:
I0=S A0T2exp(−qϕB
kB T ) , (7)
onde S é a área do dispositivo e A0 é a constante de Richardson.
Existe ainda um efeito adicional de abaixamento de barreira devido ao efeito
de carga imagem, ou efeito Schottky [15]. Esse efeito insere uma dependência da
barreira de potencial φB com o campo elétrico na superfície do metal, de acordo com
as equações:
ϕB=ϕ0−Δϕ , (8)
Δϕ=√ q Emax
4 πε s
, (9)
onde Emax é a amplitude do campo elétrico aplicado na superfície do metal e εs é a
permeabilidade elétrica do semicondutor. O valor do campo elétrico depende das
características dos materiais e do potencial aplicado, bem como da morfologia da
interface.
Em certo casos, o efeito de abaixamento de barreira se torna mais significante
que o comportamento previsto pela equação (6). Nestes casos, a característica I-V
assume uma dependência diferente com o potencial aplicado, passando a ser
descrita pela equação:
I=I 0 [exp(β √V a )−1 ] , (10)
onde β é uma constante que inclui efeitos de temperatura e a razão entre o potencial
aplicado e o campo elétrico na interface. A unidade subtraída da exponencial é uma
33
correção para que a corrente sem potencial aplicado seja nula. Poderíamos assumir,
para um filme semicondutor de espessura L, com superfície plana e baixa densidade
de cargas livres:
β=√ q³
4πεkBT L(11)
Essa equação descreve um comportamento similar à corrente através de uma
interface metal-vácuo. Sua validade em estado sólido foi demonstrada por [16], de
onde ela foi adaptada. Alguns trabalhos baseados em interfaces metal-polímero
[17] apresentaram boa correlação com esse resultado.
2.5 TRANSISTOR FET VERTICAL
Uma estrutura alternativa ao dispositivo planar é o transistor de efeito de
campo em arquitetura vertical, ao qual referimo-nos pela sigla VOFET (do inglês,
Vertical Organic Field Effect Transistor) quando são usados materiais orgânicos
como isolante e semicondutor. Nesse caso, não existem contatos laterais ao
semicondutor, pois os eletrodos de dreno, fonte e porta estão dispostos numa
estrutura multicamadas. Não existem modelos bem estabelecidos do conhecimento
do autor para a descrição deste dispositivo, portanto uma análise de alguns dos
fenômenos esperados e reportados por trabalhos experimentais anteriores serão
demonstradas a seguir.
Na estrutura multicamadas, o canal condutor que se forma entre dreno e fonte
tem o comprimento regulado pela espessura do filme semicondutor que separa os
dois eletrodos. O controle da espessura geralmente é feito pela regulagem de taxas
de deposição, sendo possível a obtenção de dimensões da ordem de algumas
camadas atômicas em processos de epitaxia mais rigorosos. Como o controle de
dimensões no sentido planar geralmente depende de técnicas de litografia, em que a
obtenção de dimensões abaixo do comprimento de onda da luz visível representa
um grande desafio tecnológico, conclui-se que a estrutura vertical permite
34
comprimentos de canais muito menores e melhor parametrizados do que a estrutura
planar.
Devido às baixas mobilidades de portadores de cargas normalmente
observadas em semicondutores orgânicos [6], um dispositivo que possibilite a
formação de um canal condutor de grande área e pequena espessura é importante
para a obtenção de correntes elétricas mais elevadas.
Geralmente, o eletrodo intermediário é o contato de fonte ou o de porta,
sendo que o mecanismo de modulação é diferente em cada um dos casos. Quando
o eletrodo intermediário é o de porta [18], toda a corrente circulando entre dreno e
fonte passa através desse eletrodo, sendo possível modulá-la através da variação
do potencial de porta. Nessa construção, geralmente é necessária a produção de um
eletrodo de porta perfurado ou muito fino. Quando o eletrodo intermediário é o de
fonte, o eletrodo de porta é isolado do semicondutor e tem por função alterar as
características de injeção do eletrodo de fonte. Nessa construção, vista na FIGURA
12, o eletrodo de fonte precisa ser permeável à ação de campos elétricos produzidos
pelo eletrodo de porta. O efeito de permeabilidade pode ser obtido através de
diferentes métodos, possivelmente envolvendo a impressão de padrões, perfurações
e rugosidade em um eletrodo de espessura muito pequena, de maneira similar ao
caso anterior.
FIGURA 12 – ESQUEMA DO TRANSISTOR FET DE FONTE PERMEÁVEL.
O dispositivo estudado nesse trabalho é o FET vertical de fonte permeável.
Podemos considerar a estrutura como um diodo metal-semicondutor empilhado
sobre um capacitor, sendo que os dois tem em comum o eletrodo de fonte. O
eletrodo de porta tem por função controlar a injeção de portadores do eletrodo de
35
fonte no material semicondutor. Podemos escolher os materiais para a interface
fonte-canal de forma a constituir uma junção retificadora. Espera-se poder descrever
a injeção de cargas em função de correntes termiônica, de difusão e de tunelamento
similares àquelas demonstradas para materiais cristalinos [15], sendo que cada uma
delas apresenta um comportamento diferente em relação ao potencial aplicado e à
barreira energética entre os dois materiais.
Diversos autores obtiveram transistores funcionais a partir dessa estrutura,
porém o mecanismo pelo qual a injeção é modulada pelo potencial de porta ainda é
controverso. Algumas análises levando em conta os efeitos do campo elétrico sobre
o eletrodo podem ser boas candidatas para descrição do comportamento do
dispositivo. Um possível efeito é o acúmulo de cargas no eletrodo de fonte,
apontado por Ma [19]. Quando um condutor ideal fica sujeito a um campo elétrico,
cargas se acumulam na superfície do eletrodo compensando o campo aplicado e
mantendo a neutralidade elétrica no seu interior. Num material de condutividade
finita, espera-se que o acúmulo de cargas afete o interior do condutor, se
estendendo por uma certa profundidade. Nessa situação, o número total de
portadores atingindo a barreira de interface pode ser aumentado ou reduzido,
possibilitando modulação da corrente injetada.
Como a densidade de elétrons livres em metais é muito alta, a penetração de
campos elétricos no eletrodo intermediário é mínima, portanto o acúmulo de cargas
se dá em uma profundidade de apenas algumas camadas atômicas. Esse efeito de
blindagem dificulta a modulação da injeção pelo carregamento do eletrodo, porém,
pode ser contrabalanceado com a elevação da capacitância do sistema porta-
isolante-fonte, o que em contrapartida reduz drasticamente o desempenho em
frequência do dispositivo.
Para obtenção de uma transcondutância elevada, o eletrodo de fonte
precisaria ser muito fino, ao menos em algumas regiões da área ativa do dispositivo.
Com o uso de um filme de alta rugosidade, é possível que essa condição seja
atingida [19]. Além dessas considerações, é possível que a estrutura do metal em
espessuras muito finas apresente propriedades de transporte diferentes daquelas
observadas em grandes volumes cristalinos, devido à presença de fronteiras de grão
e fases amorfas; essa situação permitiria uma maior penetração do campo elétrico.
36
Uma abordagem alternativa demonstrada por Ben-Sasson [20] faz uso de
perfurações com dimensões bem controladas no eletrodo de fonte formando uma
grade metálica. Isso é feito para permitir a passagem de campos elétricos
produzidos pelo eletrodo de porta para dentro da estrutura do eletrodo de fonte e do
volume do semicondutor, conforme demonstrado na FIGURA 13. Supondo uma
situação em que o eletrodo permeável está entre duas placas condutoras sujeitas a
potenciais elétricos definidos, uma análise rápida indica que os campos elétricos
nessas perfurações são afetados pelos dois potenciais.
FIGURA 13 – ILUSTRAÇÃO DA SEÇÃO TRANSVERSAL DA PERFURAÇÃO E CAMPOS INDUZIDOS PELOS POTENCIAIS DE DRENO E PORTA.
Nas facetas laterais da perfuração, o campo resultante é a soma dos campos
induzidos pelas duas placas. Considerando o caso do transistor de fonte permeável
em que um dos potenciais é o potencial de porta e o outro é o potencial de dreno,
vemos que o campo pode ser amplificado pelo aumento do potencial de porta, que
possivelmente implica em amplificação da injeção de cargas. Esse efeito de
amplificação da injeção de cargas nas facetas laterais das perfurações cria contatos
virtuais entre o eletrodo de fonte e o semicondutor nessas regiões, aumentado a
corrente IDS até o limite em que o transporte passa a ser limitado somente pelos
efeitos do volume do semicondutor. Nessa situação, a característica I-V pode ser útil
para discernir qual o mecanismo mais importante na limitação do transporte de
cargas.
Como as facetas superiores do contato de fonte não são afetadas pelo
potencial de porta, estas regiões contribuem negativamente para o dispositivo, já
que circula uma corrente no canal que não pode ser modulada reduzindo portanto a
razão on/off da corrente IDS. Em face disso, a razão entre regiões de perfuração e
37
regiões completamente metalizadas é uma das características importantes para o
desempenho do dispositivo, sendo que uma elevação da área perfurada em geral é
benéfica para o aumento da transcondutância. Entretanto, um limite é imposto pela
condução no plano do eletrodo, já que um caminho de baixa resistência deve ser
fornecido para a condução da corrente de canal para o contato de fonte em toda sua
área. Uma modelagem matemática em função de simulações é demonstrada em
[21], onde grande parte dessas situações são levadas em consideração e são feitas
comparações com experimentos.
2.6. ISOLANTE DE PORTA
Uma das principais vantagens do uso de transistores de efeito de campo é o
isolamento elétrico obtido entre o eletrodo de porta e o os demais contatos do
dispositivo devido à presença de um excelente isolante entre o canal semicondutor e
o condutor de porta. Nas tecnologias inorgânicas atuais, o material comumente
utilizado para esse fim é o dióxido de silício (SiO2), que além da compatibilidade com
os demais materiais, apresenta uma das maiores resistividades entre os materiais
de aplicação prática. Porém, é comum o uso de outros materiais como o dióxido de
háfnio (HfO2) que foi aplicado em algumas das tecnologias mais recentes por
apresentar maior permissividade elétrica e permitir um acoplamento capacitivo
elevado com o canal. Outras alternativas de permissividade mais elevada são
materiais como dióxido de titânio (TiO2) e dióxido de zircônio (ZrO2). Apesar destes
materiais não apresentarem o mesmo desempenho isolante do dióxido de silício,
sua maior permeabilidade permite que se faça um filme mais espesso no isolante de
porta. Essa abordagem é importante para evitar efeitos de tunelamento quântico
eletrônico que se tornam significantes nos dispositivos de tecnologias mais atuais,
onde os filmes podem atingir dimensões da ordem de dezenas de camadas
atômicas. As mesmas condições devem ser observadas no planejamento do filme
isolante para transistores orgânicos, tanto em arquitetura vertical quando em
arquitetura planar. O bom isolamento elétrico do eletrodo de porta, mantendo um alto
38
acoplamento capacitivo entre este e o canal, depende da condutância e
permissividade elétrica do material utilizado, bem como a habilidade de produzir
filmes finos com o mesmo.
Diversos dispositivos orgânicos foram implementados [22–24] usando estes
óxidos considerados de alto desempenho. Porém, estes materiais introduzem
dificuldades para o processamento em conjunto com semicondutores orgânicos, já
que as temperaturas envolvidas no processo de deposição podem danificar estes
materiais. Além disso, o uso destes óxidos aumenta a rigidez do dispositivo, o que é
indesejável para aplicação em substratos flexíveis.
Entre os polímeros mais estudados para aplicação no isolamento elétrico do
eletrodo de porta estão o poli(4-vinilfenol), poliimida, poli (metacrilato de metila)
(Acrílico ou PMMA), polivinilpirrolidona (abreviadamente povidona ou PVP) e álcool
polivinílico (PVA). Existem ainda camadas isolantes construídas com a combinação
de materiais diferentes, porém a produção de um filme em uma única etapa de
deposição é desejável para obtenção de um processo de fabricação de baixo custo
e complexidade.
O material escolhido para aplicação nesse trabalho foi o álcool polivinílico,
devido às suas características de não-toxicidade, baixo custo, solubilidade em água,
flexibilidade, excelente isolamento elétrico e alta constante dielétrica [25]. A estrutura
química desse polímero é mostrada na figura 14, onde observa-se a presença de um
grupo hidroxila em cada unidade do polímero. Essa característica dá um caráter
fortemente polar ao material, e é possivelmente responsável por sua alta
permissividade elétrica.
FIGURA 14 - ESTRUTURA QUÍMICA DO PVA
39
Com o uso de reticulação cruzada é possível aumentar tanto a resistência
mecânica quanto a resistividade elétrica do PVA, o que pode ser feito com a adição
de dicromato de amônio [14]. Porém, a adição de materiais que podem ser
considerados impurezas na estrutura do isolante tem efeitos adversos relacionados
ao aumento de efeitos de histerese em dispositivos eletrônicos construídos com o
material. A origem destes efeitos de histerese não é bem compreendida, porém pode
ter relação com o movimento de íons e reorientação lenta de grupos OH dentro da
estrutura do polímero. Apesar das adversidades, esse procedimento foi realizado na
fabricação dos dispositivos estudados nesse trabalho.
40
3 ESTUDO DO ELETRODO PERMEÁVEL
Na arquitetura vertical do transistor de efeito de campo com fonte permeável,
o principal obstáculo tecnológico é a fabricação do eletrodo de fonte em um
processo simples e de baixo custo, pois as propriedades morfológicas desse
eletrodo afetam diretamente características importantes como a transcondutância e
tensão de limiar de condução.
3.1 ANÁLISE
As técnicas comumente utilizadas para permeabilização do eletrodo
intermediário envolvem litografia de esferas, deposição de copolímeros [20] e outras
moléculas orgânicas [26], antes ou durante a evaporação do eletrodo de fonte. Esse
procedimento objetiva criar um efeito de máscara, que é posteriormente removida
deixando furos no material condutor. Estas técnicas, apesar de mais facilmente
parametrizadas, apresentam custo e complexidade elevados devido aos materiais
utilizados e aos processos necessários para retirada do material sem danificar o
filme fino que compõe o eletrodo de fonte.
Uma solução para esse problema empregando uma única etapa de deposição
pode ser obtida através do uso de filmes metálicos muito finos [27–29]. Podemos
descrever a dinâmica de formação de filmes metálicos em uma sequência de
estágios intermediários desde a formação de núcleos iniciais até a obtenção de um
filme homogêneo com a presença de grandes áreas cristalinas, conforme
representado na FIGURA 15.
41
FIGURA 15 – REPRESENTAÇÃO DOS ESTADOS INTERMEDIÁRIOS DE FORMAÇÃO DE UM FILME METÁLICO.
É possível interromper o processo de deposição em uma condição na qual o
filme não tenha atingido coalescência total, deixando furos e regiões não cobertas
por material condutor. Essa situação seria muito vantajosa, já que os padrões
necessários para obtenção de permeabilidade a campos elétricos perpendiculares
poderiam ser obtidos sem procedimentos adicionais. Porém, ainda é necessário que
haja interconexão no plano do filme metálico, para que as cargas circulando pelo
semicondutor possam fluir através do eletrodo de fonte sem passar por regiões de
alta resistência elétrica, ou seja, sem produzir quedas de tensão significativas ao
longo do plano do eletrodo de fonte.
Essas duas condições são concorrentes durante o processo de fabricação, e
se faz necessário crescer o filme em certas condições de temperatura e taxa de
deposição que produzam uma morfologia intermediária entre um excelente condutor,
que bloquearia qualquer campo elétrico ortogonal, e um filme não condutor, que
permitira a passagem dos campos elétricos no sentido ortogonal mas não permitiria
o fluxo de corrente no plano.
A escolha do material para compor o eletrodo permeável é baseada na sua
dinâmica de crescimento durante o processo de deposição, além de características
elétricas como função trabalho e condutividade. Para esse trabalho foi escolhido o
estanho, que apresenta uma baixa temperatura de fusão e uma tendência a produzir
filmes de maior rugosidade em processos de evaporação térmica.
42
3.2 PROCEDIMENTO EXPERIMENTAL
Para estudo do processo de formação do filme de estanho que irá compor o
eletrodo de fonte dos dispositivos finais, diversas amostras foram preparadas de
acordo com o procedimento descrito a seguir. Foram usadas condições diferentes
em um processo de evaporação térmica em vácuo, a fim de observar as alterações
na morfologia do filme metálico e correlacioná-las com suas características elétricas.
3.2.1 Substrato
Em laboratório, foram utilizadas lâminas de vidro cortadas com 15 mm por 25
mm como base para os dispositivos. O preparo das lâminas é de grande importância
já que impurezas na superfície podem afetar os filmes depositados causando
alterações na morfologia ou mesmo perfurações ou regiões de não aderência,
dificultando as análises ou ainda impossibilitando o funcionamento de dispositivos
construídos com as amostras.
A limpeza empregada consiste em três etapas de banho ultra-sônico com
duração de 20 minutos em diferentes solventes. O primeiro solvente utilizado é a
acetona, com o objetivo de eliminar a maioria das moléculas orgânicas presentes na
superfície do vidro. Os solventes seguintes são água deionizada e álcool
isopropílico, com o objetivo de remover moléculas do solvente anterior que possam
estar fortemente ligadas à superfície da lâmina.
No dispositivo sob estudo, o eletrodo de fonte cresce necessariamente sobre
o filme que constitui o isolante do eletrodo de porta. Dessa forma, suas propriedades
precisam ser caracterizadas sobre o material escolhido, já que pequenas variações
no tratamento aplicado ao substrato afetam diretamente a morfologia do filme
metálico. Como o isolante utilizado para o eletrodo de porta é o álcool polivinílico
com dicromato de amônia, uma fina camada desse material é depositada sobre a
lâmina de vidro através de spin-coating, seguindo o processo descrito por Machado
43
[14].
Primeiramente é feita a dissolução de 60 mg de PVA em 1 mL de água
deionizada. As partes são adicionadas em um vial de vidro sobre uma superfície
aquecida a 60 ºC e mantidas em agitação branda durante 1 hora. Em seguida são
adicionados 15 mg de dicromato de amônio e a solução é submetida novamente à
agitação por aproximadamente 15 minutos, tempo necessário somente para que
seja constatada visualmente a dissolução total do sal.
Com uma micropipeta, é depositado um volume de 60 μL da solução sobre a
lâmina de vidro já afixada no equipamento de spin-coating, sendo iniciado de
imediato o processo de rotação em duas etapas consecutivas; a primeira com
duração de 10 s à velocidade de 800 rotações por minuto e a segunda com duração
de 50 s à velocidade de 4000 rotações por minuto. Nessas condições, espera-se
obter um filme com espessura de 300 a 400 nm, porém frequentemente são
observadas variações de espessura no perfil do filme depositado, possivelmente
devido às condições não-ideais do equipamento e procedimento utilizados. Estas
variações em geral não causam problemas no dispositivo a ponto de causar o não-
funcionamento, porém podem aumentar a variação das propriedades elétricas entre
amostras semelhantes.
O processo é repetido para 6 a 8 amostras e o lote segue para a etapa de
reticulação, que é feita por exposição a radiação UV durante 10 minutos em
condições ambiente. Na sequência, as amostras são postas em estufa a vácuo na
temperatura de 100 ºC e pressão aproximada de 60 mm Hg, onde permanecem por
aproximadamente 1 hora. Pausas entre um procedimento e outro são sempre
evitadas, pois afetam o resultado final do experimento.
3.2.2 Evaporação
Finalmente é feita a deposição do filme de estanho sobre o PVA. É usada
uma máscara de sombreamento para produção de uma trilha central com largura de
2mm, em que será medida a resistência de folha aproximada. Dessa forma é
possível fazer a correlação dessa medida com a morfologia observada em
microscópio de força atômica.
44
A evaporação do filme é realizada em câmara de aço inoxidável descrita na
figura 16, com unidade de vácuo (FIGURA 16, item 6) composta por bomba
mecânica de dois estágios, bomba difusora e armadilha criogênica de nitrogênio
líquido. A qualidade do vácuo é verificada através de sensores pirani e penning,
sendo que o procedimento é geralmente realizado com a câmara à pressão base de
10-6 torr, atingida após um período de estabilização de cerca de 10 minutos.
Para monitoramento da taxa de deposição, está instalada na câmara de
trabalho uma microbalança de quartzo (FIGURA 16, item 4) ligada a um software de
controle (FIGURA 16, item 7), que monitora a frequência de oscilação e fornece
informação sobre a massa depositada por unidade de área e espessura do filme em
tempo real.
FIGURA 16 – ESQUEMA SIMPLIFICADO DA EVAPORADORA (fora de escala): 1) Cadinho de evaporação térmica de tântalo 2) Suporte para amostras e máscaras de sombreamento 3) Obturador rebatível de controle pneumático 4) Microbalança de quartzo para controle da espessura e taxa de deposição 5) Controle do obturador 6) Sistema de vácuo 7) Computador com software de controle da microbalança.
A posição da amostra (FIGURA 16, item 2) pode ser variada em relação ao
cadinho de evaporação (FIGURA 16, item 1), porém a altura do sensor é fixa. As
taxas de deposição sobre a amostra a alturas diferentes daquela do sensor podem
ser estimadas por uma relação de quadrado inverso da distância ao cadinho:
45
Rs=Rm( hm
hs)2
, (12)
onde Rs é a taxa na amostra, Rm é a taxa medida, hs é a distância da amostra ao
cadinho e hm é a distância do sensor ao cadinho, igual a 16 cm.
Finalmente, com o uso de um obturador pneumático (item 3 – figura 16),
podemos limitar os tempos de exposição da amostra e produzir filmes com
espessura controlada. É possível também controlar a espessura através da massa
total depositada no cadinho, cada situação apresenta vantagens diferentes. Para o
caso do estanho, como o material vem na forma de pedras de aproximadamente 60
mg de alta pureza e a separação de massas precisas sem contaminação do material
é bastante difícil, considera-se mais apropriado o controle da espessura através do
obturador. Outro ponto em favor dessa abordagem é que o material apresenta uma
taxa de evaporação estável quando o cadinho é mantido em temperatura constante,
facilitando a parametrização do processo.
Foram escolhidas três alturas diferentes para a deposição do filme, de 7, 10 e
16 centímetros. Espera-se que as distâncias menores produzam filmes mais
rugosos, devido às maiores temperaturas associadas ao aquecimento indireto do
substrato e à maior taxa de deposição.
Para cada situação, foi buscado o limiar em que o filme passa a apresentar
condutâncias no plano em valores intermediários (em torno de 100 Ω/ ), suficientes☐
para a passagem de correntes na ordem de microamperes sem que haja queda
significativa de potencial ao longo do eletrodo. Ao ser atingida essa condição, o filme
é considerado o melhor candidato para aplicação no dispositivo final. A resistência
de folha aproximada do filme foi aferida por um teste rápido da resistência a dois
terminais mostrado na FIGURA 17, sendo que o valor é obtido por:
Rs=V
dW I, (13)
onde V é a tensão aplicada, I a corrente medida, d a distância entre as pontas e
prova e W a largura da trilha. Levando em conta a grande variação desse valor entre
46
amostras, uma abordagem mais precisa, como uma medida a quatro terminais, foi
considerada desnecessária. Os tempos de exposição necessários em cada condição
são demonstrados na terceira coluna da TABELA 1. Estes tempos representam o
tempo entre a abertura e o fechamento do obturador, em que a amostra fica exposta
ao vapor do estanho sublimado a partir do cadinho.
FIGURA 17 – TESTE RÁPIDO DE RESISTÊNCIA A DOIS TERMINAIS.
TABELA 1 – LIMIARES DE CONDUÇÃO PARA DIFERENTES CONDIÇÕES DE EVAPORAÇÃO.
Altura
[cm]
Taxa de Deposição
[Å/s]
Exposição
[s]
Densidade
[μg/cm²]
Rs [Ω]
7 10,4* 35 0,27 30
10 5,1* 60 0,23 130
16 2.0 - 2.5 150 0,27 180
16 3.0 – 3.5 110 0,37 40
* taxa estimada
47
3.3 IMAGENS DE MICROSCOPIA DE FORÇA ATÔMICA
Para cada distância mostrada na primeira coluna da TABELA 1, foram
escolhidas amostras com diferentes tempos de exposição, próximos aos valores de
limiar mostrados na coluna 3. Dessa forma, espera-se observar as diferenças
morfológicas entre os filmes de estanho com condutividade alta e baixa. As imagens
foram obtidas em um microscópio de força atômica da marca Shimadzu, modelo
9500J3, no modo dinâmico.
3.3.1 Série 1 – Distância de 7 cm
As primeiras amostras são para a distância de 7 centímetros do cadinho, foi
usada uma taxa de evaporação de 2 Å/s medida no sensor, que corresponde a uma
taxa de 10,4 Å/s na posição da amostra. Foram escolhidas 4 amostras com as
características mostradas na TABELA 2, já que as variações são mais abruptas
devido à temperatura e densidade de deposição mais elevadas.
TABELA 2 – CARACTERÍSTICAS DAS AMOSTRAS DA SÉRIE 1
Identificação Exposição [s] Resistência [Ω/☐] Rugosidade RMS [nm]
Amostra 1 20 Inf. 6,6
Amostra 2 30 Inf. 7,8
Amostra 3 35 10k 10,7
Amostra 4 40 30 20,2
Só foi observada condução reprodutível nas condições usadas para produção
da amostra 4, apresentando resistência de folha de 30 Ω/ .☐ Nas condições da
amostra 3 foram medidas resistências da ordem de 10 kΩ/ ☐ em algumas amostras,
o que indica que o limiar de condução ocorre em cerca de 35 segundos de
exposição. Na FIGURA 18, observada-se uma forte variação do tamanho de grão
entre as amostras, aumentando rapidamente com o tempo de exposição.
48
FIGURA 18 – MORFOLOGIA DO FILME À DISTÂNCIA DE 7 cm.
FIGURA 19 – DISTRIBUIÇÃO DE ALTURAS DAS IMAGENS DE AFM DAS
AMOSTRAS À DISTÂNCIA DE 7 cm.
49
FIGURA 20 - PERFIL AO LONGO DA AMOSTRA 4
3.3.2 Série 2 – Distância de 10 cm
A segunda série de amostras foi produzida à distância de 10 cm do cadinho,
foi usada uma taxa de evaporação de 2 Å/s medida no sensor, que corresponde a
uma taxa de 5,1 Å/s na posição da amostra. A variação das propriedades nessas
condições é mais lenta, portando foi possível isolar a condição de limiar de
condutividade com mais facilidade. Foram escolhidas duas amostras com as
características mostradas na TABELA 3.
TABELA 3 – CARACTERÍSTICAS DAS AMOSTRAS DA SÉRIE 2
Identificação Exposição [s] Resistência [Ω/☐] Rugosidade RMS [nm]
Amostra 1 40 Inf. 7,4
Amostra 2 60 180 5,3
Na FIGURA 21, observa-se da amostra 1 para a amostra 2 apenas uma
variação sutil em morfologia e tamanho de grão, sendo que no segundo caso há
uma maior interconexão, inclusive com a formação de uma superfície uniforme nas
camadas inferiores do filme. Como as amostras representam as situações antes
(amostra 1) e depois (amostra 2) de ser atingida condução no plano, observa-se que
50
não existe uma grande variação morfológica associada ao surgimento de
condutividade elevada, apenas interconexão entre grãos.
FIGURA 21 – MORFOLOGIA DO FILME À DISTÂNCIA DE 10cm.
FIGURA 22 – DISTRIBIÇÃO DE ALTURAS DAS IMAGENS DE AFM DAS
AMOSTRAS À DISTÂNCIA DE 10cm.
51
FIGURA 23 - PERFIL AO LONGO DA AMOSTRA 2
3.3.3 Série 3 – Distância de 16 cm
A série final foi realizada à distância de 16 cm do cadinho. Utilizou-se a taxa
de 3 Å/s medida no sensor e considerada igual à taxa da amostra por estarem
ambos à mesma distância do cadinho. As amostras escolhidas representam as
situações antes e depois de ser obtida a condução no plano, correspondendo aos
tempos de exposição mostrados na TABELA 4. Nessa situação foi possível obter
uma superfície uniforme, com menor presença de picos pronunciados.
TABELA 4 – CARACTERÍSTICAS DAS AMOSTRAS DA SÉRIE 3
Identificação Exposição [s] Resistência [Ω/☐] Rugosidade RMS [nm]
Amostra 1 100 Inf. 7,0
Amostra 2 110 40 6,4
É notável que a condutância pode ser associada à conexão visível das
regiões do eletrodo, sendo que podemos observar caminhos que cruzam a imagem
na escala de 10 μm sem atravessar regiões de vales na amostra 2, o que não se
observa na amostra 1.
Para efeito de comparação, definimos um fator de ocupação do filme com
52
vales e perfurações, calculado tomando a fração da área do filme com espessura
menor que um certo limiar:
Fp(ht)=A (h<ht)
At
, (14)
onde A(h<ht) é a área da região considerada que tem espessura inferior ao limiar h t
escolhido e At é a área total da região considerada. Para um limiar de 25 nm, o fator
foi de 12,93% para amostra 1 e 1,42% para a amostra 2, indicando que o máximo
fator possível sem perda de condutividade no plano nessas condições está entre
estes dois valores.
É importante notar que, diferentemente da situação considerada no modelo
proposto em [21], o eletrodo não apresenta somente perfurações, mas
predominantemente há presença de vales com direções e comprimentos variados.
Outra estrutura observável são as ilhas sem conexão com o restante do eletrodo que
podem ter uma participação no comportamento elétrico do dispositivo, já que
representam um potencial flutuante em uma região relativamente grande em
comparação à espessura do semicondutor, porém a modelagem deste efeito está
além do escopo desse trabalho.
FIGURA 24 – MORFOLOGIA DO FILME À DISTANCIA DE 16cm.
53
FIGURA 25 – DISTRIBUIÇÃO DE ALTURAS DAS IMAGENS DE AFM DAS
AMOSTRAS À DISTÂNCIA DE 16cm.
FIGURA 26 - PERFIL AO LONGO DA AMOSTRA 2
A maior proximidade do cadinho de fato resultou em maior rugosidade, porém
em nenhum dos casos iniciais foram observadas perfurações que se estendessem
até o material isolante. Quando a deposição é realizada a uma taxa mais lenta, o
material pode formar ilhas e atingir a coalescência lentamente, o que acaba
resultando em regiões maiores com a presença de vales, situação desejável para a
permeabilidade a campos elétricos.
A homogeneidade da superfície superior do filme metálico nessa última
54
condição também apresenta vantagens, já que a presença de picos pode causar
curtos através do canal até o contato de dreno, dificultando o uso de filmes
semicondutores nanométricos.
Observou-se grande variação nas medidas elétricas quando o filme de PVA
usado como substrato é submetido a tratamento térmico em condições variadas, ou
ainda quando fica exposto às condições atmosféricas por um intervalo de tempo
entre as etapas do processo de fabricação. Estima-se que a adsorção de umidade e
outras impurezas do meio à superfície do PVA introduzem defeitos importantes na
morfologia do filme metálico, desestruturando o material e dificultando a condução
no plano.
Possivelmente ocorre reação química entre as primeiras camadas do metal
depositado com grupos O-H presentes no PVA [30], gerando fases isolantes
seguidas de fases porosas nos primeiros nanometros depositados. Esse efeito pode
ter participação na permeabilidade do eletrodo em regiões menos espessas do
material.
55
4 ESTUDO DO DISPOSITIVO
A eficiência do filme permeável como um eletrodo intermediário em um
transistor de efeito de campo vertical pode ser aferida através da confecção do
dispositivo completo. Foram elaborados dispositivos com diferentes materiais
compondo o canal, a fim de obter obter transistores complementares.
Pelo processo depender do uso de máscaras de sombreamento, foram
escolhidos somente materiais compatíveis com evaporação térmica [8]. Em geral,
esta restrição implica no uso de semicondutores compostos por moléculas
pequenas. Alguns polímeros promissores usados em diversos trabalhos
semelhantes foram desconsiderados, por dependerem de processos químicos ou
eletroquímicos para formação do filme. Os materiais estudados foram o fulereno
(C60) e a ftalocianina de cobre (CuPc), que são semicondutores moleculares
extensivamente estudados atualmente. Suas estruturas químicas são mostradas na
FIGURA 27.
FIGURA 27 – ESTRUTURA DA MOLÉCULA DE C60 E DA MOLÉCULA DE CuPc.
A Ftalocianina de Cobre é um corante usado na indústria de plásticos que
apresenta uma coloração ciano intensa. Por ser produzida em larga escala,
apresenta um baixo custo em comparação a semicondutores moleculares obtidos de
processos mais elaborados. As ftalocianinas e seus derivativos são interessantes
para aplicações eletrônicas, fotovoltaicas, eletroquímicas, de sensoreamento e
memórias devido ao seu extenso sistema delocalizado de elétrons-π, permitindo à
56
molécula absorver luz visível e funcionar com um material condutor ambipolar. A
molécula de CuPc tem uma conformação planar e simétrica, característica que é de
grande importância para conferir um maior grau de ordem ou cristalinidade ao
volume do material durante a deposição.
Em princípio, o material apresenta valores da mesma ordem de grandeza
para mobilidade de lacunas e elétrons (da ordem de 10-3 cm² V-1 s-1) [31], sendo que
a mobilidade de elétrons é geralmente de duas a três vezes maior. Existe, porém,
um efeito de dopagem pelo oxigênio atmosférico que aumenta a densidade de
lacunas [32], [33], de tal forma que o material é considerado um semicondutor tipo
'p'. O material utilizado foi obtido da Sigma-Aldrich Co., depositado sem purificação
ou processamento adicional.
O fulereno ou C60 é uma molécula composta por 60 átomos de carbono em
uma conformação bastante específica, similar a uma bola de futebol. Cada átomo
faz duas ligações simples e uma dupla com outros três átomos de carbono. O
material e seus derivativos são bastante estudados atualmente por apresentarem
alta mobilidade de elétrons, associada à presença de um sistema pi-conjugado de
grandes dimensões, sendo que alguns trabalhos reportam mobilidades de efeito de
campo maiores que 1 cm2V-1s-1 [34]. Por conta disso, o fulereno é considerado um
semicondutor tipo 'n'. O material utilizado foi obtido da Luminescence Technology
Corp. (Lumtec), depositado sem purificação ou processamento adicional.
4.1 PROCEDIMENTO EXPERIMENTAL
O dispositivo é composto por uma sequência de camadas finas depositadas por
processo de evaporação em vácuo e spin-coating, conforme a representação da
FIGURA 28. Em cada substrato são formados três dispositivos interconectados pelo
contato de porta, que podem ser caracterizados separadamente.
57
FIGURA 28 – SEQUÊNCIA DE FABRICAÇÃO DA AMOSTRA: 1) Substrato de vidro 2) Trilha de alumínio (Porta) 3) Fita de teflon para proteção do contato 4) Filme de cr-PVA 5) Trilha de estanho (Fonte) 6) Material Semicondutor 7) Trilha de alumínio (Dreno)
Primeiramente, toma-se um substrato de vidro soda-lime cortado e limpo
conforme procedimento mencionado anteriormente (sessão 3.2.1), sobre o qual é
evaporado uma trilha de alumínio que irá atuar como contato de porta. Uma região
da amostra é coberta com fita teflon com a finalidade de impedir a deposição das
demais camadas sobre uma parte deste eletrodo, reservando-se assim uma região
do mesmo para contato elétrico externo.
Sobre esta lâmina é depositado, com o uso de uma micropipeta regulada para
60 µL, a solução de cr-PVA para o procedimento de spin-coating e posterior
reticulação por exposição UV e tratamento térmico, conforme procedimento descrito
anteriormente (sessão 3.2.1). Em seguida é feita a deposição controlada de estanho
utilizando uma máscara que limita a região a três trilhas que vão da extremidade do
vidro até cobrir o eletrodo de porta sobre o isolante, tomando o cuidado de iniciar a
evaporação imediatamente após a retirada das amostras do tratamento térmico.
Utilizando a distância do cadinho à amostra, taxa de evaporação e tempo de
exposição encontrados nos experimentos anteriores, obtém-se com relativa
consistência a morfologia desejada no eletrodo de fonte.
As etapas finais consistem na evaporação do filme semicondutor e dos contra-
eletrodos ou contatos de dreno. Na primeira, usa-se uma máscara semelhante
àquela utilizada para o contato de porta, porém com uma largura maior, obtendo-se
assim uma tolerância para o desalinhamento das máscaras, que causariam um curto
circuito entre os filmes metálicos que constituem dreno e fonte.
A evaporação de alumínio para construção do contato de dreno é a mais
simples; não é necessário controle de espessura, apenas uma boa condução no
plano para permitir a circulação de correntes mais elevadas no semicondutor
mantendo a equalização do potencial de dreno em toda a área do dispositivo. É
58
possível escolher materiais diferentes para este contato, a fim de favorecer o
transporte de elétrons ou lacunas. Alguns metais apresentam uma tendência muito
forte de difundir para dentro da estrutura do semicondutor, possivelmente causando
um curto elétrico, porém essa situação não foi observada com o uso do alumínio.
É importante que as trilhas de contato elétrico permitam um afastamento dos
pontos em que serão ligados equipamentos de medição, já que a pequena
espessura dos filmes que compõem o dispositivo não apresenta resistência
mecânica contra arranhões e perfurações causadas por pontas de prova.
4.2 ANÁLISE E MEDIDAS ELÉTRICAS
4.2.1 Dispositivos com C60 como semicondutor
Os dispositivos iniciais empregaram como semicondutor o fulereno C60, a fim
de obter injeção de elétrons a partir do eletrodo de estanho. O diagrama de níveis de
energia pode ser visto na FIGURA 29, em um esquema fora de escala, onde
observamos um relativo alinhamento das funções trabalho dos eletrodos de dreno e
fonte com o nível LUMO do semicondutor.
FIGURA 29 – DIAGRAMA DE NÍVEIS ENERGÉTICOS DO DISPOSITIVO COM FONTE EM ESTANHO E CANAL EM C60. Da esquerda para a direita estão representadas (fora de escala) as energias do eletrodo de porta, isolante, eletrodo de fonte, semicondutor e eletrodo de dreno. Funções trabalho obtidas de [35], [36], níveis energéticos do semicondutor obtidos do fabricante.
59
Em geral, busca-se maximizar a injeção de portadores no canal semicondutor
através da escolha de materiais para construção dos eletrodos de dreno e fonte que
formam um contato ôhmico com o semicondutor. Frequentemente essa escolha
implica em alinhar a função trabalho um metal de opção com o nível LUMO do
semicondutor para facilitar a injeção de elétrons ou com o nível HOMO para injeção
de lacunas, desconsiderando outros efeitos de interface. Os níveis energéticos
aproximadamente alinhados do material semicondutor e dos eletrodos de dreno e
fonte desse dispositivo possivelmente proporcionam uma baixa resistência de
contato para injeção de elétrons.
A evaporação feita a 16 cm de distância do cadinho, mesma altura da
microbalança de quartzo instalada no equipamento de evaporação, requer cerca de
20 mg para a formação de um filme com aproximadamente 150 nm de espessura,
conforme verificado com o uso do perfilômetro Brucker DextakXT. A taxa de
evaporação do material é instável, porém pode ser mantida abaixo de
aproximadamente 5 Å/s com o aumento lento da corrente de aquecimento do
cadinho de evaporação. É importante utilizar uma taxa baixa para favorecer a
cristalinidade do semicondutor depositado e também evitar que a agitação do sólido
no cadinho não cause a queda de parte do material para o fundo da câmara.
Um problema observado em dispositivos empregando fulereno é sua
susceptibilidade à umidade do ar e demais impurezas que facilmente degradam o
comportamento elétrico do dispositivo poucos dias ou até horas após a fabricação.
De fato, alguns autores apresentam resultados somente em câmaras com atmosfera
controlada. Por conta disso, as medidas elétricas foram realizadas imediatamente
após a fabricação, não sendo obtida repetibilidade no dia posterior.
As medidas das características elétricas de entrada, saída e transferência
foram feitas em condições de ambiente utilizando uma fonte dual Keithley 2602, o
resultado obtido para a característica de saída pode ser visto na FIGURA 30, que
representa o comportamento no primeiro quadrante do perfil I-V.
Os quadrantes são definidos para referirmo-nos às condições de polarização
do dispositivo, sendo que o primeiro quadrante é representa a polarização positiva
dos eletrodos de porta e dreno em relação ao eletrodo de fonte e o terceiro
quadrante representa a polarização negativa destes eletrodos.
60
FIGURA 30 – PERFIL I-V DE SAÍDA NO PRIMEIRO QUADRANTE PARA O VOFET COM CANAL EM FULERENO: a) Em escala linear b) Em escala semilog por raiz de VDS (reta adicionada para comparação).
No dispositivo medido, o comportamento da corrente em função da variação
de potencial dreno-fonte acima de um certo potencial de limiar segue um
comportamento compatível com o modelo de abaixamento de barreira (sessão 2.4),
isso é visto no gráfico em função da raiz do potencial aplicado, que revela uma
dependência exponencial bastante clara. O comportamento citado, porém, não é
válido abaixo de um potencial de limiar que ocorre em torno de VDS = 1,5 V,
possivelmente podendo ser associado a uma mudança no mecanismo de transporte
eletrônico em correntes mais baixas ou à presença correntes de fuga somadas à
corrente de canal.
Varreduras em potenciais de porta negativos não demonstraram resposta nas
amostras medidas. Já a aplicação de potenciais positivos até cerca de 1.5 V
resultaram em um pequeno aumento da corrente de canal, sendo que acima desse
valor o fenômeno de modulação atinge uma saturação, conforme é observado na
figura 27. É possível que devido à pequena barreira de potencial entre o estanho e o
semicondutor, a corrente nas facetas superiores do dispositivo, que não podem ser
moduladas, dominam a corrente total no canal. Como a região de perfurações no
eletrodo é pequena em relação à região completamente metalizada, este seria um
fator determinante na baixa razão de modulação observada nas medidas.
Observa-se que é necessária a presença de uma barreira mais elevada para
que seja criada uma situação de baixa condutância entre os eletrodos dreno e fonte,
o que pode ser feito pela escolha de materiais com níveis energéticos desalinhados.
61
Na tabela do APÊNCIDE I são demonstrados alguns parâmetros usados na
tentativa de fabricação dos eletrodos de fonte destes dispositivos.
4.2.2 Tratamento do eletrodo
A fim de elevar a barreira energética para injeção de elétrons entre o eletrodo
de fonte e o semicondutor, foi feita uma fina cobertura com um material de função
trabalho diferente sobre este eletrodo. Podemos considerar esta abordagem como
um calibração da função trabalho do eletrodo de fonte. Para tanto, foi adicionada
após a evaporação de estanho uma etapa de evaporação de ouro, que apresenta
uma função trabalho de 5,2 eV, resultando no novo diagrama de energias mostrado
na FIGURA 31 (fora de escala). Foram realizadas coberturas com espessuras de 3 a
10 nm sem perda da morfologia do eletrodo (ver FIGURA 32). Espera-se que estes
metais formem uma bicamada, já que o ponto eutético da liga Sn-Au é
suficientemente elevado [37] para podermos considerar que uma fase intermediária
não ocorre de maneira significativa durante a deposição.
FIGURA 31 - DIAGRAMA DE NÍVEIS ENERGÉTICOS DO DISPOSITIVO COM COBERTURA DE OURO NO ELETRODO DE FONTE. Da esquerda para a direita estão representados (fora de escala) os níveis energéticos do eletrodo de porta, isolante, eletrodo de fonte, cobertura do eletrodo de fonte, semicondutor e eletrodo de dreno. Funções trabalho obtidas de [35], [36], níveis energéticos do semicondutor obtidos do fabricante.
62
FIGURA 32 – MORFOLOGIA DO FILME DE ESTANHO COM COBERTURA DE 10 nm DE OURO E DENSIDADE DE ALTURAS CORRESPONDENTE
Ocorreram diversos problemas na tentativa de depositar filmes de ouro
sobre o eletrodo de estanho, grande parte dos dispositivos apresentou curto circuito
no canal. Foi reportado [38] que isso se deve a difusão dos átomos de ouro para
dentro das estruturas dos filmes isolante e semicondutor, um problema frequente na
evaporação de metais sobre materiais moleculares. Essa situação geralmente exige
o uso de camadas intermediárias a fim de bloquear a difusão dos átomos metálicos
durante a deposição, onde geralmente são aplicadas monocamadas auto-
organizadas (do inglês, Self-Assembled Monolayers - SAM) entre outras soluções
[39]. Porém esses procedimentos aumentam a complexidade no processo, o que é,
em geral, indesejável.
Entre os dispositivos que não apresentaram curto circuito nas medidas
elétricas, foram observadas diversas formas de instabilidades, mas a característica
geral obtida em amostras mais estáveis não diferiu muito dos dispositivos
construídos com eletrodo somente de estanho. Portanto, com base nas dificuldades
encontradas nessa abordagem, o uso de uma cobertura metálica para os
dispositivos de C60 foi abandonado, ao menos na técnica de evaporação térmica.
Na tabela do APÊNCIDE II, são demonstrados alguns dados importantes do
processo usado para produzir as amostras.
63
4.2.3 Dispositivos com CuPc como semicondutor
Usando as mesma técnicas para controle da morfologia do eletrodo de fonte,
deposição do filme isolante e demais eletrodos, foram construídos dispositivos com
ftalocianina de cobre como semicondutor.
Os valores comumente obtidos para o nível HOMO e LUMO do material são
5.2 e 3,6 eV respectivamente, apresentando uma barreira similar de 0,8 eV para
injeção de lacunas e elétrons em relação ao nível de fermi do estanho de 4,4 eV,
como pode ser visto na FIGURA 33. Esse valor mediano é favorável para manter a
corrente de estado desligado em níveis baixos porém ainda permitindo que um
potencial de porta não muito elevado seja capaz de reduzir a barreira e iniciar a
condução.
FIGURA 33 – DIAGRAMA DE NÍVEIS ENERGÉTICOS DO DISPOSITIVO CONSTRUIDO COM CuPc. Da esquerda para a direita são representados os níveis energéticos do eletrodo de porta, filme, isolante eletrodo de fonte, semicondutor e dreno. Funções trabalho obtidas de [35], [36], níveis energéticos do semicondutor obtidos do fabricante.
É importante notar que o nível de fermi do metal próximo ao meio da lacuna
de energia do semicondutor em princípio pode possibilitar o transporte ambipolar no
dispositivo [40], já que as barreiras para lacunas e elétrons são bastante similares.
Entretanto, ao compararmos a função trabalho do metal e os níveis HOMO e LUMO
do semicondutor diretamente, precisamos levar em conta a possibilidade de
formação de dipolos de interface que desfazem o alinhamento em nível de vácuo
[31].
64
A evaporação do material foi feita em taxas abaixo de 1 Å/s para que a
formação do volume apresentasse uma estrutura mais cristalina, trabalhos
anteriores [41] demonstram que o crescimento do material em taxas mais elevadas é
nocivo às características de transporte eletrônico, possivelmente propiciando a
formação de armadilhas no volume e interface do material. Uma massa de
aproximadamente 15mg foi adicionada ao cadinho e o substrato foi mantido a 16 cm
de altura, resultando num filme com espessura bastante homogênea de 80 nm.
4.2.3.1 Característica de Saída
Medidas elétricas foram realizadas da mesma maneira descrita anteriormente.
O dispositivo mostrou comportamento de modulação em polarizações positivas
(primeiro quadrante da característica I-V, FIGURA 35) e negativas (terceiro
quadrante da característica I-V, FIGURA 34), porém o efeito foi muito mais
pronunciado em polarizações negativas.
FIGURA 34 – CARACTERÍSTICA I-V DE SAÍDA DO FET CuPc NO TERCEIRO QUADRANTE: Esquerda) Em escala linear, Direita) Em escala semilog.
65
FIGURA 35 – CARACTERÍSTICA I-V DE SAÍDA DO FET CuPc NO PRIMEIRO QUADRANTE: Esquerda) Em escala linear, Direita) Em escala semilog.
Do gráfico em escala semilogarítmica, podemos observar um claro
comportamento exponencial da corrente a partir de um certo potencial dreno-fonte,
sendo que os desvios da exponencial em baixas tensões dreno-fonte provavelmente
se devem majoritariamente à corrente de fuga circulando a partir do contato de porta
através do isolante. Esse comportamento é compatível com o modelo de injeção
termiônica discutido na seção 2.4, porém nessa situação não é observado o efeito
de abaixamento de barreira. A parametrização dos dados experimentais na região
acima da tensão de limiar pelas equações (6) e (7) da teoria termiônica é mostrada
na TABELA 5. Obtemos os parâmetros pela linearização da curva de saída (ver
FIGURA 34-b), onde o fator I0 é obtido através do coeficiente linear e o fator η é
obtido a partir do coeficiente angular. A análise é feita para o terceiro quadrante, já
que nessa região as características do dispositivo são superiores.
TABELA 5 – PARÂMETROS DE FITTING DOS DADOS EXPERIMENTAIS.
VGS [V] I0[A] η ΦB [mV]
-6 3,23 × 10-7 76,6 698
-4 3,95 × 10-8 57,7 752
-2 3,71 × 10-10 35,2 925
Os valores elevados do fator de idealidade são um indicativo de que os
66
fenômenos de recombinação na interface bem como transporte por tunelamento
quântico podem ser bastante significativos [15], [42]. É possível ainda que o
fenômeno se deva à presença de uma camada de polarização na interface,
resistência no volume do material e aumento da corrente reversa maior do que o
previsto pela teoria clássica [43]. A descrição da variação desse fator requer uma
análise mais elaborada além do escopo desse trabalho, porém é válido observar que
trabalhos anteriores observaram comportamento semelhante, porém em função da
variação da temperatura [44].
4.2.3.2 Capacitâncias
Medidas de capacitância podem trazer diversas informações a respeito das
propriedades do semicondutor, já que a presença de capacitâncias de difusão ou
depleção está associada aos mesmo fenômenos que regulam o transporte de
corrente no canal. Apesar de a literatura indicar ser observada uma variação da
capacitância em função do potencial de polarização em diodos constituídos de um
filme de CuPc entre dois eletrodos metálicos [41], medidas com aplicação de
polarização na faixa de ±5V não revelaram variação das capacitância entres as
combinações em pares dos três terminais. Os valores medidos em diferentes
frequências são mostrados na TABELA 6, onde CDS representa a capacitância entre
os terminais de dreno e fonte, CDG a capacitância entre dreno e porta e CGS a
capacitância entre porta e fonte. Estes parâmetros são usados no modelo de
pequenos sinais.
TABELA 6 – MEDIDAS DE CAPACITÂNCIA ENTRE OS TERMINAIS DO TRANSISTOR.
100 Hz 1 kHz 10 kHz
CGS [nF] 1,38 1,13 1,00
CDS [nF] 1,77 1,72 1,70
CDG [nF] 0,89 0,77 0,70
A invariância da capacitância pode se dever à presença de barreiras
energéticas elevadas nos dois eletrodos aliado à pequena espessura do canal, já
67
que essas condições podem impedir a formação de uma região de depleção além de
reduzir a densidade de portadores no volume do canal como um todo. Sem as
informações que poderiam ser extraídas do comportamento da capacitância do
canal, uma análise em termos da teoria de difusão fica impossibilitada. Esta
invariância, porém, não constitui prova de que não existe uma região de depleção
em todas as condições de operação do dispositivo, já que a medida foi feita com o
terceiro terminal do dispositivo desligado.
4.2.3.3 Característica de Transferência
A característica de transferência é obtida fixando-se um potencial de dreno e
variando o potencial de porta. A partir da variação da corrente do canal nessa
situação, podemos obter a transcondutância tomando a derivada dessa curva
(mostrados na FIGURA 37). Foi escolhido um potencial de dreno de 5V, por
representar um valor comum em aplicações comerciais e também por ser um ponto
próximo ao limiar de condução que apresenta menores correntes no estado
desligado. O resultado da medida da característica de transferência é visto na
FIGURA 36-a, e para a característica de entrada (também chamada de corrente de
fuga da porta) na FIGURA 36-b.
FIGURA 36. CARACTERÍSTICAS I-V DE TRANSFERÊNCIA E ENTRADA NO TERCEIRO
QUADRANTE COM VGS=-5 V.
68
FIGURA 37 – TRANSCONDUTÃNCIA CALCULADA EM VGS=-5 V.
Observa-se uma região linear bem definida abaixo de um potencial de limiar
de -3,2 V, onde uma transcondutância constante de aproximadamente 1,8 μS foi
obtida. Algumas hipóteses podem ser levantadas em função da forte linearidade
observada acima da tensão de limiar. Porém, os fenômenos que descrevem a
modulação da corrente dreno-fonte requerem uma análise mais elaborada, em
função da distribuição dos campos elétricos em torno das regiões de perfuração do
eletrodo de fonte, ou ainda um conhecimento mais sólido de sua estrutura e
fenômenos de interface, tanto com o isolante quanto com o semicondutor.
Como o sistema porta-isolante-fonte apresenta uma capacitância
relativamente elevada, é possível que as cargas induzidas no eletrodo de fonte
estejam amplificando a corrente de injeção. Como a densidade de cargas aumenta
linearmente com o potencial aplicado ao contato de porta, seria justificável a
observação de uma transferência linear, ainda mais considerando a invariância nas
medidas de capacitância. Porém, considerando o mecanismo de injeção termiônica,
seria mais plausível descrever o fenômeno através de uma redução de barreira
energética na interface, conforme os valores listados na última coluna da TABELA 5.
4.2.3.4 Histerese de Transferência
A varredura do potencial de porta, vista na FIGURA 38, mostra um forte efeito
de histerese da corrente de canal, sendo que no retorno o cruzamento do eixo das
69
correntes (corrente com potencial nulo aplicado ao terminal de porta) se dá a um
valor aproximadamente 200 nA maior, e o limiar de condução é deslocado de
aproximadamente 2 V. A varredura foi feita à velocidade de 40 mV/s, considerada
baixa o suficiente para isolar a histerese de efeitos capacitivos. Para comparação de
valores, é preciso ter em mente que a amostra usada para as medidas de histerese
não é a mesma das seções anteriores.
FIGURA 38 – HISTERESE DO FET CuPc NO TERCEIRO QUADRANTE.
Esse efeito tem relação com as características do isolante de porta, conforme
comentado na seção 2.6, e é observado com frequência em isolantes poliméricos.
Apesar de representar um problema para um transistor operando em regime de
chaveamento, o efeito de pode ter aplicações em dispositivos de memória.
Na região marcada no início da curva de retorno é possível observar um
comportamento inesperado de aumento da corrente com a redução do potencial
aplicado, resultando em um máximo de corrente. Esse fenômeno é replicável e
possivelmente é similar ao observado no início do regime de saturação nas curvas
de saída de transistores planares construídos com o mesmo material isolante e
medidos em condições ambiente, conforme pode ser visto em [13], podendo ser
atribuído à adsorção de água na interface do isolante. Alguns trabalhos baseados na
modelagem de transistores planares atribuem este comportamento também à
presença de um gradiente de mobilidade na interface entre o semicondutor e o
isolante, porém esta abordagem não necessariamente se aplica ao transistor vertical
[45].
70
5 CONCLUSÕES
Foi demonstrado um transistor orgânico vertical de efeito de campo, sendo
que o eletrodo intermediário é naturalmente permeável e fabricado em uma única
etapa de evaporação térmica. Todos os materiais usados no dispositivo final são de
baixo custo, fácil processamento e portanto compatíveis com a aplicação em grande
área em substratos flexíveis.
Por apresentar modulação bastante significativa tanto no primeiro quadrante
quanto no terceiro, o dispositivo fabricado com CuPc pode, em princípio, compor
uma lógica complementar sem a necessidade de processos adicionais ou outros
materiais. Essa característica simplifica muito a criação de um processo de
fabricação comercialmente viável, demonstrando a importância do estudo de
semicondutores ambipolares.
A observação de vales e perfurações nas imagens de microscopia de força
atômica associada aos dispositivos modulantes dá um indício da validade dos
modelos presentes na literatura, porém, a forte linearidade observada na
característica de transferência é em princípio inesperada, deixando dúvidas sobre
qual é o mecanismo exato que regula a modulação da corrente no canal. Analisando
os valores esperados para a penetração de campos elétricos em condutores e
semicondutores, além da coerência dos dados experimentais com as previsões dos
modelos para junções Schottky, espera-se que o fenômeno ocorra, de fato, na
interface entre o eletrodo de fonte e o semicondutor.
O relativo sucesso obtido na fabricação do dispositivo vertical indica que o
estudo dessa topologia e outras similares pode trazer resultados superiores àqueles
obtidos pela abordagem comumente observada na literatura, que envolve a
replicação das estruturas bem estabelecidas na eletrônica do silício como o FET
planar. Observa-se a importância da análise fundamental dos mecanismos de
transporte antes de compararmos dados experimentais com modelos elaborados,
baseados em inúmeras aproximações e considerações que nem sempre se
estendem da eletrônica em materiais cristalinos para a eletrônica molecular.
As medidas de capacitância apresentadas para o dispositivo de CuPc não
71
foram feitas para todas as condições de funcionamento de polarização, e poderiam
ser obtidas de uma maneira mais completa. Dessa forma, possivelmente seria
observada uma variação, que poderia ter relação com a formação de uma região de
depleção.
Como a modelagem apresentada nesse trabalho tem um caráter simplificado,
é necessária uma abordagem mais rigorosa para esclarecimento dos fenômenos
observados durante a caracterização dos dispositivos produzidos. Poderiam ser
feitas simulações dos efeitos de polarização do isolante, armadilhas de portadores
nas interfaces, cálculos de elementos finitos para uma avaliação dos campos
elétricos na regiões de perfuração, estudo da nucleação do eletrodo intermediário,
entre outras possibilidades. Também são necessárias outras formas de
caracterização a fim de definir com maior clareza se o modelo termiônico é
totalmente válido, ou ao menos parcialmente. Por exemplo, medidas com variação
de temperatura ou sob influência de um campo magnético aplicado podem ter
efeitos sobre a corrente de canal que poderiam ajudar a discernir entre diferentes
modelos de transporte eletrônico.
A presença de ilhas isoladas do restante da estrutura do eletrodo de fonte,
possivelmente representando um potencial elétrico flutuante, foi apenas citada no
capítulo 3, mas uma análise mais elaborada poderia trazer à tona novos
mecanismos associados ao efeito de modulação do dispositivo, ou ainda um
fenômeno útil para outras aplicações da morfologia do filme de estanho fabricado
naquelas condições.
Apesar de o dispositivo estudado em todos os caso ter sido o FET vertical
com fonte permeável, seria bastante válido um estudo análogo para o FET com
porta permeável usando as características do estanho para produção do eletrodo
intermediário nessa construção.
Finalmente, é possível usar os mecanismos associados à modulação da
corrente de canal nestes dispositivos para outros fins, como sensoreamento de
campos magnéticos ou dispositivos de memória. Isso pode ser feito com alteração
de alguns materiais da estrutura ou introdução de camadas intermediárias com
propriedades ferroelétricas, por exemplo.
72
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75
APÊNDICES
PARÂMETROS USADOS NA FABRICAÇÃO DOS ELETRODOS DOS DISPOSITIVOS COM C60.
Data Fonte Sn Canal C60
Taxa [Å/s] Exposição
[s]
Espessura [nm] Resistência
[Ω]
Massa
[mg]
14/03/201
5
2,4-2,5 120 - - 22
2,4-2,5 150 27,0 -
18/03/201
5
(medidas)
1,8-1,9 150 19,5 180 26
2,1-2,3 135 20,9 -
14/04/201
5
3,1-3,4 110 25,5 20-30 23,2
3,0-3,3 100 22,3 Inf.
* Todas as evaporações de estanho e ouro foram feitas a uma altura de 16cm.
76
PARÂMETROS USADOS NA FABRICAÇÃO DOS ELETRODOS Sn/Au.
Data Eletrodo Sn Cobertura Au
Taxa
[A/s]
Exposição
[s]
Densidade Resistência
[Ω]
Espessura [nm]
20/03/2015 2,1-2,3 135 22,8 50-70 3,0
2,1-2,3 120 19,3 Inf.
23/03/2015 2,3-2,5 123 19,5 Inf. 3,2
2,2-2,3 150 23,3 Inf.
26/03/2015 2,0-2,4 150 22,7 Inf. 3,2
2,1-2,5 180 28,4 100
2,5-2,6 150 26,5 Inf.
30/03/2015 2,1-2,2 150 22,2 Inf.
5,12,1-2,4 180 28,2 300-500
08/04/2015
(medidas)
3,1-3,3 120 27,2 15 3,2
3,0-3,5 105 24,9 30-40
09/04/2015 3,1-3,2 120 25,0 20-40 10,1
3,1-3,2 100 21,3 Inf.
* Todas as evaporações de estanho e ouro foram feitas a uma altura de 16cm.